恭喜台湾积体电路制造股份有限公司张轩荣获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利护膜框架及剥离护膜工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222896342U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421068485.3,技术领域涉及:G03F1/64;该实用新型护膜框架及剥离护膜工具是由张轩荣;谢昆龙;柯定贤;温志伟设计研发完成,并于2024-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本护膜框架及剥离护膜工具在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供一种护膜框架及剥离护膜工具。本实用新型实施例是关于一种剥离护膜工具或护膜移除工具,包括一个或多个夹具结构,每个夹具结构包括相应引脚组。一个或多个夹具结构的引脚组的相应引脚被配置为在操作中插入存在于护膜的护膜框架内的孔中。一旦将引脚组的相应引脚插入护膜框架的孔中,就可向护膜框架施加移除力,以将通过粘合剂、胶水或一些其他类似类型的耦合材料耦合到光掩模上的护膜从光掩模上移除。
本实用新型护膜框架及剥离护膜工具在权利要求书中公布了:1.一种护膜框架,其特征在于,包括:框架,包括:第一表面;第二表面,相对于所述第一表面;第一侧部分;第二侧部分,相对于所述第一侧部分;第三侧部分,横向于所述第一侧部分和第二侧部分,所述第三侧部分从所述第一侧部分延伸至所述第二侧部分并耦合到所述第一侧部分和所述第二侧部分;第四侧部分,横向于所述第一侧部分和所述第二侧部分,所述第四侧部分从所述第一侧部分延伸至所述第二侧部分并耦合到所述第一侧部分和所述第二侧部分,且所述第四侧部分相对于所述第三侧部分;开口,由所述第一侧部分、所述第二侧部分、所述第三侧部分和所述第四侧部分所界定;第一组孔,在所述第一侧部分中;第二组孔,在所述第二侧部分中;第三组孔,在所述第三侧部分中;以及第四组孔,在所述第四侧部分中。
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