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龙图腾网恭喜苏州飞时曼精密仪器有限公司申请的专利一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119024007B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411505466.7，技术领域涉及：G01Q10/00；该发明授权一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜是由韩雄;钱锋;张顺中设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜在说明书摘要公布了：本发明属于针尖扫描式原子力显微镜技术领域，具体提供一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜，所述AFM扫描头包括壳体、激光光源模块、XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块、四象限接收信号模块和XYZ三轴传感器闭环检测模块，所述激光光源模块、XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块、四象限接收信号模块和XYZ三轴传感器闭环检测模块均对应位于壳体内部；所述XYZ三轴传感器闭环检测模块对应安装于XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块上，所述XYZ三轴传感器闭环检测模块与控制系统对应连接；工作时，利用XYZ三轴传感器闭环检测模块检测扫描时的位移量，并反馈给控制系统，经控制系统处理并比较后，根据比较结果进行补偿。本发明能有效提高检测时的精度与响应速度，实用性强。

本发明授权一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜在权利要求书中公布了：1.一种三轴闭环控制的AFM扫描头，包括壳体（21）、激光光源模块（1），其特征在于：还包括XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块、四象限接收信号模块和XYZ三轴传感器闭环检测模块，所述激光光源模块（1）、XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块、四象限接收信号模块和XYZ三轴传感器闭环检测模块均对应位于壳体（21）内部；所述XYZ三轴传感器闭环检测模块对应安装于XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块上，所述XYZ三轴传感器闭环检测模块与控制系统对应连接；工作时，利用XYZ三轴传感器闭环检测模块检测扫描时的位移量，并反馈给控制系统，经控制系统处理并与初始输入的位移量进行比较后，根据比较结果进行补偿；所述XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块包括XY轴压电陶瓷管扫描器（5）和Z轴压电陶瓷管扫描器（7），所述XY轴压电陶瓷管扫描器（5）对应安装于扫描器固定盘（4）上，所述扫描器固定盘（4）对应安装固定于壳体（21）内；所述XY轴压电陶瓷管扫描器（5）底部对应安装有绝缘连接套（6），所述Z轴压电陶瓷管扫描器（7）对应安装于绝缘连接套（6）上；所述Z轴压电陶瓷管扫描器（7）底部对应安装有探针架连接套（8），所述探针架连接套（8）上对应安装有探针架底座（9），所述探针架连接套（8）内中央位置对应安装有聚焦透镜（20）；所述探针架底座（9）上对应安装有探针固定座（10），所述探针固定座（10）上对应安装有微悬臂探针（11），所述微悬臂探针（11）的针尖背面一固定点对应位于聚焦透镜（20）的焦点上；所述XYZ三轴传感器闭环检测模块包括X轴传感器（13）、Y轴传感器（14）和Z轴传感器（15），所述扫描器固定盘（4）上对应安装固定有传感器固定支架（12），所述X轴传感器（13）一极板和Y轴传感器（14）一极板均对应固定于绝缘连接套（6）上，所述X轴传感器（13）另一极板和Y轴传感器（14）另一极板均对应固定于传感器固定支架（12）上，且X轴传感器（13）与Y轴传感器（14）呈90°垂直分布；所述Z轴传感器（15）一极板对应固定于探针架连接套（8）上，所述Z轴传感器（15）另外一极板对应固定于传感器固定支架（12）上。

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