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龙图腾网恭喜苏州汇影光学技术有限公司申请的专利一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119758680B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510253693.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法及系统是由李治显;谢晓凯;万佳;刘霞设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及参数监测领域，尤其涉及一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法及系统，方法包括：获取边缘曝光机每个时刻下的各项参数，利用不同时刻的同项参数构建参数序列；将参数序列进行转换得到频率序列；计算每个频率值与边缘曝光机运行状态的一致性，一致性表示在相应频率值时边缘曝光机的运行状态，利用一致性对频率值进行二分类得到正常频率集和异常频率集；计算当前时刻各项参数的异常程度；计算边缘曝光机的异常程度，边缘曝光机的异常程度与参数的异常程度正相关，响应于异常程度大于预设的异常阈值，发出边缘曝光机异常的提示。本发明提高了对边缘曝光机曝光参数以及工作状态监测结果的准确性。

本发明授权一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种边缘曝光机曝光参数实时监测方法，其特征在于，包括步骤：获取边缘曝光机每个时刻下的各项参数，利用不同时刻的同项参数构建参数序列；将参数序列进行转换得到频率序列，根据频率序列得到多个频率值；计算每个频率值与边缘曝光机运行状态的一致性，一致性表示在相应频率值时边缘曝光机的运行状态，利用一致性对频率值进行二分类得到正常频率集和异常频率集；计算各项参数与边缘曝光机运行状态的一致性，表达式为： ，表示第k项参数和曝光机运行状态之间的一致性，norm表示归一化函数，表示第k项参数的所有频率值和边缘曝光机运行状态一致性的均值，表示第k项参数的所有频率值和边缘曝光机运行状态一致性的标准差，exp表示以e为底的指数函数；计算当前时刻各项参数与相应异常频率集的第一距离，以及与相应正常频率集的第二距离，将第一距离和第二距离的比值作为距离比；计算当前时刻各项参数的异常程度，参数的异常程度与距离比负相关；计算边缘曝光机的异常程度，边缘曝光机的异常程度与参数的异常程度正相关，响应于异常程度大于预设的异常阈值，发出边缘曝光机异常的提示。

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