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恭喜株式会社迪思科斋藤良信获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利保护部件的形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112786487B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011189624.4,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权保护部件的形成方法是由斋藤良信设计研发完成,并于2020-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

保护部件的形成方法在说明书摘要公布了:本发明提供保护部件的形成方法,在使树脂成为液态而形成保护部件时,良好地识别树脂已成为液态。该保护部件的形成方法在晶片的一个面上形成保护部件,其中,该保护部件的形成方法包含如下的树脂状态识别工序:将与该晶片的一个面接触的热塑性树脂加热,并且在载台的树脂载置面与晶片保持面之间传播超声波振动,对夹持在该晶片保持面所保持的晶片的一个面与该树脂载置面之间的该热塑性树脂是否已一体化进行识别。在识别为已经一体化时,将热塑性树脂在晶片的一个面的整个面上推开,接着对热塑性树脂进行冷却而硬化。

本发明授权保护部件的形成方法在权利要求书中公布了:1.一种保护部件的形成方法,在晶片的一个面上形成由热塑性树脂形成的保护部件,其中,该保护部件的形成方法具有如下的工序:树脂提供工序,在载台的树脂载置面上配置多个粒状的热塑性树脂;晶片保持工序,通过晶片保持单元的晶片保持面而对晶片的另一个面进行保持;接触工序,使用上下移动机构使该晶片保持单元和该载台在相对地接近的方向上移动,从而使该晶片保持单元所保持的晶片的一个面与粒状的该热塑性树脂接触;树脂状态识别工序,将与该晶片的一个面接触的粒状的该热塑性树脂加热,并且在该树脂载置面与该晶片保持面之间传播超声波振动,对夹持在该晶片保持面所保持的晶片的一个面与该树脂载置面之间的该热塑性树脂是否已一体化进行识别;推开工序,通过该晶片将在该树脂状态识别工序中识别为已一体化的该热塑性树脂在该晶片的一个面的整个面上推开;以及硬化工序,对推开的该热塑性树脂进行冷却而硬化,该保护部件的形成方法形成对晶片的一个面的整个面进行保护的保护部件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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