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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利对准装置、光刻机及对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690596B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011632413.3，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权对准装置、光刻机及对准方法是由高安;邢奕飞;孙建超设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置、光刻机及对准方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准装置、光刻机以及对准方法。其中，第一镜组将光照分为第一光束和第二光束，第二镜组将第二光束转为第三光束。第一光束和第三光束经光栅标记发生衍射并产生衍射光。第一光束的衍射光经第二镜组和第一镜组后进入探测单元，第三光束的衍射光经第一镜组后进入探测单元。再经第一波片，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分别发生干涉。然后经第一偏振分光棱镜分为第一偏振光和第二偏振光，并由第一探测器和第二探测器分别获取对应的光能量。当移动光栅标记至光能量均达到预设值时，光栅标记的所在位置为对准位置。故本发明分别获取两束衍射光，并经第一波片实现二者干涉，无需使用自参考干涉棱镜，以降低成本，提高对准精度。

本发明授权对准装置、光刻机及对准方法在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置包括：光照单元、分光单元和探测单元；其中，所述光照单元用于提供光照；所述分光单元包括第一镜组和第二镜组；所述第一镜组用于将所述光照分为具有第一偏振方向的第一光束和具有第二偏振方向的第二光束，所述第二镜组用于将所述第二光束转为具有第一偏振方向的第三光束；所述第一光束和所述第三光束经一光栅标记发生衍射，并分别产生第一光束的衍射光和第三光束的衍射光；其中，所述第一光束的衍射光依次经所述第二镜组和所述第一镜组后进入所述探测单元，所述第三光束的衍射光经所述第一镜组后进入所述探测单元；所述探测单元包括第一波片、第一偏振分光棱镜、第一探测器和第二探测器；所述第一光束的衍射光和所述第三光束的衍射光经所述第一波片后改变偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分别发生干涉，并形成干涉光；所述干涉光进入所述第一偏振分光棱镜，并经所述第一偏振分光棱镜分为第一偏振光和第二偏振光；所述第一探测器获取第一偏振光的光能量，所述第二探测器获取第二偏振光的光能量；其中，当移动所述光栅标记至所述第一探测器和所述第二探测器分别获取的所述光能量均达到预设值时，所述光栅标记的所在位置为对准位置。

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