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龙图腾网恭喜昆明理工大学;山东恒邦冶炼股份有限公司;烟台恒邦高纯新材料有限公司申请的专利一种高压液封直拉法制备超高纯砷单晶棒工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119287492B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411348387.X，技术领域涉及：C30B15/00；该发明授权一种高压液封直拉法制备超高纯砷单晶棒工艺是由邹琳;李辉;刘元辉;董准勤;李照刚;张晛;孙瑞涛;刘大春;周君祺;曲兴启;王鲁;吕润丰;冯亮;孔德志设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高压液封直拉法制备超高纯砷单晶棒工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高压液封直拉法制备超高纯砷单晶棒工艺，以7N高纯砷为原料，经原料准备、真空脱氧、升温化料、直拉提纯、降温出炉、产品处理六步最终制得分子束外延用9N超高纯砷单晶棒。本高压液封直拉法制备9N超高纯砷单晶棒工艺，能够高效达成硅含量1ppb、氧含量1ppm的技术指标，满足分子束外延需要，能够根据客户要求，灵活调整产品规格，无需特定规格的模具，高效生产。

本发明授权一种高压液封直拉法制备超高纯砷单晶棒工艺在权利要求书中公布了：1.一种高压液封直拉法制备超高纯砷单晶棒工艺，其特征在于包括以下工艺步骤：步骤1原料准备：在手套箱中称取3~5kg的7N高纯砷，将其投入高纯热解氮化硼坩埚中，随后加入0.5~1kg高纯氧化硼铺于砷料上层；将坩埚从手套箱中转出，置于直拉炉内，依次安装各组件后封闭炉体；开启循环水，开启真空泵，使用高纯氩气体将炉内气体置换三次，人员撤出现场，设备切换为远程操控模式；步骤2真空脱氧：开启真空泵，抽真空至10Pa，升高温场温度至250~300℃，恒温保持1h，关闭真空泵，随后使用惰性气体增压至4.0~5.0MPa；步骤3升温化料：升高温场温度至400~500℃，恒温30分钟，使氧化硼全部融化形成液封，随后升高温场温度至820~850℃，待原料全部融化后，于800~820℃恒温保持30min，设定晶转速度3~20rpm正向、蜗转速度3~20rpm反向，烤晶10min；步骤4直拉提纯：手动操作润晶、引晶、缩颈、放肩至砷棒直径达30mm，设定提拉速度0.001~1mms，等径生长，至20~40mm处升温缩颈，随后调节温度二次放肩至30mm等径生长，至330~350mm处收尾，将砷棒与熔体脱离；步骤5降温出炉：关闭晶转、蜗转，停止加热，以1℃min速率降温至350℃，恒温保持30min，随后自然冷却至室温，开启真空泵，使用惰性气体将炉内气体进行置换，打开炉体将砷单晶棒取出；步骤6产品处理：将砷单晶棒转移至手套箱中清洗槽内，使用UP-S级的电子级乙醇浸泡清洗五次，彻底去除表面残留的氧化硼，将砷棒从清洗仓中取出置于烘干仓内，将手套箱温度升至80~100℃并开启清洗模式，工艺运行1~2h，彻底烘干表面残留的乙醇，将砷棒敲掉头端，并真空封装，最终制得硅含量1ppb、氧含量1ppm的9N超高纯砷单晶棒。

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