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恭喜湖南大学梁世维获国家专利权

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龙图腾网恭喜湖南大学申请的专利一种抗辐射加固的SiC MOSFET器件结构及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119364804B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411535150.2,技术领域涉及:H10D30/60;该发明授权一种抗辐射加固的SiC MOSFET器件结构及制备方法是由梁世维;王俊;米卢;陈家祺设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种抗辐射加固的SiC MOSFET器件结构及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种抗辐射加固的SiCMOSFET器件结构及制备方法,包括N‑漂移层,所述N‑漂移层的下方设有N+衬底层,所述N+衬底层的下方设有漏极金属层,所述N‑漂移层的上方设有载流子存储层,所述载流子存储层的上方设有源极金属层,所述源极金属下方的中间设有JFET区,所述JFET区内部引入沟槽,所述沟槽的内部设有P型掺杂区和填充区,所述沟槽的两侧设有P‑base区,所述P‑base区内设有N+源区和P+区。本发明采用上述的一种抗辐射加固的SiCMOSFET器件结构及制备方法,大幅降低薄氧中的电场强度,从而提升SiCMOSFET器件抗单粒子穿能力;仅需增加沟槽刻蚀、沟槽侧壁和底部P型离子注入、沟槽回填等工艺既可,工艺复杂度不高。

本发明授权一种抗辐射加固的SiC MOSFET器件结构及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种抗辐射加固的SiCMOSFET器件结构,其特征在于,包括N-漂移层,所述N-漂移层的下方设有N+衬底层,所述N+衬底层的下方设有漏极金属层,所述N-漂移层的上方设有载流子存储层,所述载流子存储层的上方设有源极金属层,所述源极金属下方的中间设有JFET区,所述JFET区内部引入沟槽,所述沟槽的两侧设有P-base区,所述P-base区内设有N+源区和P+区;所述沟槽的侧壁和底部设有P型掺杂区,所述沟槽的内部设有填充区,所述P型掺杂区中设有P型杂质,所述P型掺杂区位于沟槽的侧壁和底部,所述填充区填充P型多晶硅源极和N型多晶硅,所述N型多晶硅被P型多晶硅源极包围,所述填充区位于P型掺杂区的内部。

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