恭喜浙江大学昆山创新中心孔剑获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江大学昆山创新中心申请的专利一种多功能晶圆夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110943028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911201145.7,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种多功能晶圆夹具是由孔剑;徐晨晨;栾亦雄设计研发完成,并于2019-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多功能晶圆夹具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多功能晶圆夹具,属于芯片加工技术领域,包括转动连接的第一盒体和第二盒体,所述第一盒体与第二盒体内均设有存储腔和安装于所述存储腔内的一对晶圆夹钩,所述晶圆夹钩能够从所述存储腔中伸出,所述晶圆夹钩包括方向能够调节的钩体。本发明能够夹取竖直或水平放置的晶圆,便于存放不使用的晶圆夹钩,方便携带,功能多样。
本发明授权一种多功能晶圆夹具在权利要求书中公布了:1.一种多功能晶圆夹具,其特征在于,包括转动连接的第一盒体和第二盒体,所述第一盒体和第二盒体间能够形成的夹角范围为60°-180°,所述第一盒体与第二盒体内均设有存储腔和安装于所述存储腔内的一对晶圆夹钩,所述晶圆夹钩能够从所述存储腔中伸出,所述晶圆夹钩包括方向能够调节的钩体;所述第一盒体和第二盒体通过锁定组件实现相对固定,所述锁定组件包括通过转轴分别与第一盒体和第二盒体转动相连的锁定壳和锁定块;所述锁定壳包括锁定腔以及位于锁定腔两侧的周期性分布的卡槽,所述锁定块能够在锁定腔中滑动,所述锁定块的端部设有能够与所述卡槽相卡合的弹性卡块。
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