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龙图腾网恭喜京元电子股份有限公司申请的专利用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113035730B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010391691.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法是由黄朝锦;吴连荣;王怡翔;黄荣光设计研发完成，并于2020-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法。该晶圆测试系统包含一针测机台与一测试机台。该光源调校系统包含被设置在该晶圆测试系统中的一光源机以及分别与该针测机台、测试机台和该光源机电性连接的一主执行装置。该光源机提供测试一晶圆的光源。该主执行装置控制该针测机台，用以调整测试该晶圆的一测试高度，接着控制该测试机台，以从该测试机台取得该晶圆在该测试高度下的一影像测试数据。该主执行装置还分析该影像测试数据，以决定该光源机的光源设定参数，并且根据该光源设定参数，调校该光源机。

本发明授权用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆测试系统的光源调校系统，其特征在于，该晶圆测试系统包含至少一个现场计算机、一针测机台与一测试机台，该光源调校系统包含：一光源机，被设置在该晶圆测试系统中，用以提供测试一晶圆的光源；以及一主执行装置，分别与该至少一个现场计算机、该针测机台、测试机台和该光源机电性连接，还与一生产管理系统连接，该主执行装置用以：从该生产管理系统取得一初始光源设定参数与一高度设定参数，其中该初始光源设定参数和该高度设定参数分别对应于该光源机和该针测机台在符合一测试目标时的设定结果；根据该高度设定参数设定该针测机台，以调整测试该晶圆的一测试高度，使该针测机台的复数个探针接触该晶圆上对应的复数个裸晶；根据该初始光源设定参数设定该光源机，以让该晶圆测试系统对该晶圆进行光学测试，产生一影像测试数据；控制该测试机台，以从该测试机台取得由该复数个探针接触的该晶圆上对应的该复数个裸晶在该测试高度下的该影像测试数据；与该至少一个现场计算机共同分析该影像测试数据，以决定该光源机的一光源设定参数；以及根据该光源设定参数，调校该光源机。

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