恭喜应用材料公司R·高塔姆获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利内嵌微波批量除气腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113994461B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080044325.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权内嵌微波批量除气腔室是由R·高塔姆;A·朱普迪;高德丰;P·P·饶;V·拉马钱德兰;欧岳生;和田优一;蔡振雄;K·L·刘设计研发完成，并于2020-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本内嵌微波批量除气腔室在说明书摘要公布了：本文提供用于基板处理腔室的方法和设备。在一些实施例中，基板处理腔室包括腔室主体，所述腔室主体具有侧壁，所述侧壁限定具有多边形形状的内部体积；设置在腔室主体的上部中的可选择性密封的细长开口以用于将一个或多个基板转移进入或离开腔室主体；设置在腔室主体的第一端处的漏斗，其中漏斗的尺寸沿着从腔室主体的外表面到内部体积的方向增大；以及设置在与漏斗相对的腔室主体的第二端处的泵端口。
本发明授权内嵌微波批量除气腔室在权利要求书中公布了：1.一种基板处理腔室，包括：腔室主体，所述腔室主体具有侧壁，所述侧壁限定具有多边形形状的内部体积；能选择性密封的细长开口，所述能选择性密封的细长开口设置在所述腔室主体的上部中以用于将一个或多个基板转移进入或离开所述腔室主体；漏斗，所述漏斗设置在所述腔室主体的第一端处的所述腔室主体的所述侧壁中的一个侧壁中，其中所述漏斗的开口的尺寸沿着从所述腔室主体的外表面到所述内部体积的方向增大，并且其中所述漏斗耦合至微波源；多个开口，所述多个开口设置在与所述漏斗相邻的所述侧壁中，以使气体流入所述内部体积；以及泵端口，所述泵端口设置在与所述漏斗相对的所述腔室主体的第二端处。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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