恭喜上海谙邦半导体设备有限公司邱勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112509903B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011491408.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子体处理装置是由邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名设计研发完成，并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体处理装置在说明书摘要公布了：一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板，所述等离子体通道板包括：等离子体通道板主体；环绕所述等离子体通道板主体的侧部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反应腔主体的顶壁之间的导电导热环；位于所述等离子体通道板主体上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤以及等离子体通道板接地不良的问题。
本发明授权一种等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板，所述等离子体通道板包括：等离子体通道板主体；环绕所述等离子体通道板主体的侧部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反应腔主体的顶壁之间的导电导热环，所述导电导热环的表面硬度小于所述通道板定位件的硬度；位于所述等离子体通道板主体上方的等离子体发生单元；所述导电导热环的材料为石墨。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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