恭喜东京毅力科创株式会社须川直树获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利载置台和等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113097044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011578696.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权载置台和等离子体处理装置是由须川直树设计研发完成，并于2020-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台和等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供载置台和等离子体处理装置。能够用一个密封构件保护高度不同的多个粘接层。载置台具有第1载置部、第2载置部、第1粘接层、第2粘接层以及密封构件。第1载置部用于载置基板。第2载置部低于第1载置部，用于载置包围基板的周缘的边缘环。第1粘接层粘接基台和第1载置部。第2粘接层粘接基台和第2载置部。密封构件在比第1粘接层靠上侧的位置与第1载置部接触，在比第2粘接层靠上侧的位置与第2载置部接触，并通过变形将第1载置部与第2载置部之间堵塞。
本发明授权载置台和等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种载置台，其中，该载置台具有：第1载置部，其用于载置基板；第2载置部，其低于所述第1载置部，用于载置包围所述基板的周缘的边缘环；第1粘接层，其粘接基台和所述第1载置部；第2粘接层，其粘接所述基台和所述第2载置部；以及密封构件，其在比所述第1粘接层靠上侧的位置与所述第1载置部接触，在比所述第2粘接层靠上侧的位置与所述第2载置部接触，并通过变形将所述第1载置部与所述第2载置部之间堵塞。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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