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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利对准装置、光刻机以及对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690595B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011625887.5，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权对准装置、光刻机以及对准方法是由邢奕飞;高安;孙建超设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置、光刻机以及对准方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准装置、光刻机以及对准方法。光照单元提供的光照经一光栅标记后，产生衍射光。所述分光单元将所述衍射光的光场分割为至少两个子光场。每一子光场内的衍射光对应进入一个探测镜组，并产生干涉形成干涉光。干涉光经第一偏振分光棱镜分为第一偏振光和第二偏振光。两个所述探测器分别获取第一偏振光和第二偏振光的光能量。当移动光栅标记至各探测器获取的光能量均达到预设值时，光栅标记的所在位置为对准位置。因此，本发明利用分光单元分割出至少两个子光场，通过探测单元实现每个子光场内衍射光的干涉，再利用多个所述探测器检测，大大提高对准精度，且无需使用自参考干涉棱镜，即可实现位置对准，不仅降低成本，而且操作简单。

本发明授权对准装置、光刻机以及对准方法在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置包括：光照单元、分光单元和探测单元；所述光照单元用于提供光照；所述光照经一光栅标记后发生衍射并产生在至少一个方向上排布的衍射光，所述衍射光进入所述分光单元；所述分光单元包括至少一个分光镜组，用于将所述衍射光的光场分割为至少两个子光场，每一所述子光场内均包括具有第一偏振方向的衍射光和具有第二偏振方向的衍射光；所述探测单元包括至少两个探测镜组和至少四个探测器，每一所述探测镜组均包括第一波片和第一偏振分光棱镜，且每一所述探测镜组配置有两个所述探测器；其中，每一所述子光场内的所述衍射光对应进入一个所述探测镜组，则所述具有第一偏振方向的衍射光和所述具有第二偏振方向的衍射光经所述第一波片透射后改变偏振方向，以在所述第一偏振方向上和所述第二偏振方向上分别发生干涉，并形成干涉光；所述干涉光进入所述第一偏振分光棱镜，并经所述第一偏振分光棱镜分为第一偏振光和第二偏振光；与所述探测镜组对应的一个所述探测器获取第一偏振光的光能量，与所述探测镜组对应的另一个所述探测器获取第二偏振光的光能量；当移动所述光栅标记至每一所述探测镜组对应的各所述探测器获取的所述光能量均达到预设值时，所述光栅标记的所在位置为对准位置。

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