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龙图腾网恭喜深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利晶圆测试设备及测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020270B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110760954.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆测试设备及测试方法是由刘世文;刘艺;陈亮设计研发完成，并于2021-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆测试设备及测试方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种提高晶圆测试精度的晶圆测试设备及测试方法，包括设备本体和设置在其上的测试机，以及嵌进所述设备本体顶部内倒置的探针卡，所述探针卡与所述测试机电连接，所述设备本体包括：框架；第一移动平台，设置在所述框架内的下部；下显微镜视觉系统和晶圆，均设置在所述第一移动平台上，所述下显微镜视觉系统用于获取所述探针卡的图像，所述第一移动平台可驱动所述下显微镜视觉系统和晶圆沿X、Y、Z三个方向直线运动；第二移动平台，设置在所述框架内的上部，上显微镜视觉系统倒置在所述第二移动平台上，用于获取其下方所述晶圆的图像，所述第二移动平台可驱动所述上显微镜视觉系统沿Y轴或X轴方向直线移动。

本发明授权晶圆测试设备及测试方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试设备，包括设备本体、于所述设备本体的上面设置的测试机，以及嵌进所述设备本体的顶部内倒置的探针卡，所述探针卡与所述测试机电连接，其特征在于，所述设备本体包括：第一移动平台，在水平方向和垂直方向上可移动的下显微镜视觉系统和用于承载晶圆的承片台，所述下显微镜视觉系统和所述承片台均设置在所述第一移动平台上，所述第一移动平台可驱动所述下显微镜视觉系统和用于承载晶圆的承片台沿X轴和或Y轴方向，以及Z轴方向作直线运动，以及在水平方向上可移动至所述探针卡下方的上显微镜视觉系统，其中，所述下显微镜视觉系统被构造成能够获取所述探针卡图像中探针卡针尖在所述第一移动平台的坐标系中的坐标x3,y3,z3，所述上显微镜视觉系统被构造成能够获取所述晶圆图像中焊盘测试点在所述第一移动平台的坐标系中的坐标x1,y1,z1，所述第一移动平台在检测时的移动距离根据所述坐标x1,y1,z1、x3,y3,z3、以及在校核所述上显微镜视觉系统和下显微镜视觉系统时所获得的所述下显微镜视觉系统在所述第一移动平台的坐标系中的坐标x2,y2,z2确定。

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