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龙图腾网恭喜西北工业大学宁波研究院申请的专利一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114408854B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111541499.3，技术领域涉及：B81B7/04；该发明授权一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法是由虞益挺;肖星辰;董雪设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法，二维微机械双向扭转镜阵列包括电极基底以及设置在电极基底上的微镜单元，微镜单元包括微镜支撑结构层、通孔电极基底以及镜面结构层，微镜支撑结构层包括锚点、扭转梁、第一下电极以及第二下电极，通孔电极基底包括第一通孔电极、第二通孔电极以及第三通孔电极，第一通孔电极与第一下电极贴触，第二通孔电极与第二下电极贴触，所述第三通孔电极与锚点贴触，镜面结构层包括镜面以及镜面支撑结构，扭转梁通过其两端的锚点支撑并悬置于通孔电极基底上方，第一下电极和第二下电极关于扭转梁对称分布，改善了微镜阵列在光谱成像系统中的光场匹配性，简化了系统光路，促进了光谱成像系统小型化。

本发明授权一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种二维微机械双向扭转镜阵列，其特征在于：包括电极基底1以及设置在电极基底1上的N×N组等间距排列的微镜单元，所述微镜单元包括微镜扭转支撑结构层14、位于微镜扭转支撑结构层14下方的通孔电极基底13以及位于微镜扭转支撑结构层14上方的镜面结构层15，所述微镜扭转支撑结构层14包括锚点6、扭转梁8、第一下电极5以及第二下电极7，所述扭转梁8通过其两端的锚点6支撑悬置于通孔电极基底13上方，第一下电极5和第二下电极7关于扭转梁8对称分布；所述通孔电极基底13包括设置在通孔电极基底13上的第一通孔电极2、第二通孔电极3以及第三通孔电极4，所述第一通孔电极2与第一下电极5贴触，所述第二通孔电极3与第二下电极7贴触，所述第三通孔电极4与锚点6贴触，所述镜面结构层15包括镜面11以及镜面支撑结构10，所述镜面11通过镜面支撑结构10与扭转梁8相连接。

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