恭喜东南大学韩磊获国家专利权
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龙图腾网恭喜东南大学申请的专利一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114608718B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210253294.3,技术领域涉及:G01K7/34;该发明授权一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器是由韩磊;刘赛赛;高初缘设计研发完成,并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器,包括衬底,蜂窝形结构梁,蜂窝形结构梁锚区,第一V形梁支梁、第二V形梁支梁、第三V形梁支梁、第四V形梁支梁,第一V形梁锚区、第二V形梁锚区、第三V形梁锚区、第四V形梁锚区,第一V形梁推动杆、第二V形梁推动杆,折纸结构梁,第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构,折纸结构梁锚区,金属电极和平面电感。本发明温度传感器采用温度‑位移‑电容转化原理,灵敏度高、检测误差小,且具有工艺兼容、设计灵活、结构简单等优势。
本发明授权一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于折纸结构的高灵敏度温度传感器,其特征在于,包括衬底1,蜂窝形结构梁21,蜂窝形结构梁锚区22,第一V形梁支梁311、第二V形梁支梁312、第三V形梁支梁313、第四V形梁支梁314,第一V形梁锚区321、第二V形梁锚区322、第三V形梁锚区323、第四V形梁锚区324,第一V形梁推动杆331、第二V形梁推动杆332,折纸结构梁41,第一折叠薄膜结构421、第二折叠薄膜结构422、第三折叠薄膜结构423、第四折叠薄膜结构424,折纸结构梁锚区43,金属电极5和平面电感6;所述第一V形梁支梁311、第二V形梁支梁312,第一V形梁锚区321、第二V形梁锚区322和第一V形梁推动杆331组成第一V形梁;所述第三V形梁支梁313、第四V形梁支梁314,第三V形梁锚区323、第四V形梁锚区324和第二V形梁推动杆332组成第二V形梁;蜂窝形结构梁锚区22放置于衬底1上,蜂窝形结构梁21的x轴方向两端分别与第一V形梁推动杆331和第二V形梁推动杆332相连接,蜂窝形结构梁21y轴正方向的一端与蜂窝形结构梁锚区22相连接,第一V形梁支梁311的两端分别与第一V形梁锚区321和第一V形梁推动杆331相连接,第二V形梁支梁312的两端分别与第二V形梁锚区322和第一V形梁推动杆331相连接,第三V形梁支梁313的两端分别与第三V形梁锚区323和第二V形梁推动杆332相连接,第四V形梁支梁314的两端分别与第四V形梁锚区324和第二V形梁推动杆332相连接,折纸结构梁锚区43放置于衬底1上,折纸结构梁41的两端分别与蜂窝形结构梁21y轴负方向的一端和折纸结构梁锚区43相连接,第一折叠薄膜结构421、第二折叠薄膜结构422、第三折叠薄膜结构423和第四折叠薄膜结构424对称分布于折纸结构梁41上,第一折叠薄膜结构421和第二折叠薄膜结构422位于折纸结构梁41的上表面,第三折叠薄膜结构423和第四折叠薄膜结构424位于折纸结构梁41的下表面,金属电极5位于折纸结构梁41下方,平面电感6的两端分别与金属电极5和折纸结构梁锚区43相连接;所述折纸结构梁41悬空于衬底1上;所述金属电极5和平面电感6放置于衬底1上。
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