恭喜南方科技大学邱成峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜南方科技大学申请的专利一种批量转移微纳米结构的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115028140B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210553884.8,技术领域涉及:B81C1/00;该发明授权一种批量转移微纳米结构的方法是由邱成峰;程鑫;刘召军;刘红均设计研发完成,并于2022-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种批量转移微纳米结构的方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种批量转移微纳米结构的方法,包括如下步骤:S1:在暂存基板上形成图案化的开孔;S2:在暂存基板的开孔内形成氧化锌微纳米结构;S3:在暂存基板上旋涂覆盖氧化锌微纳米结构的第一高分子溶液涂层;S4:在待转移的目标柔性基底上同样旋涂第二高分子溶液涂层;S5:目标柔性基底具有第二高分子涂层的一面与暂存基板的氧化锌微纳米结构结合,使得目标基板的第二高分子涂层和暂存基板的第一高分子涂层热熔结合在一起;S6:冷却后,模板目标柔性基底与暂存基板分离。本发明批量转移微纳米结构的方法针对3D结构的微纳米结构转移,转移方法简单有效且成功率极高。
本发明授权一种批量转移微纳米结构的方法在权利要求书中公布了:1.一种批量转移微纳米结构的方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:在暂存基板(10)上形成图案化的开孔(11);S2:在暂存基板(10)的开孔(11)内形成氧化锌微纳米结构(12);S3:在暂存基板(10)上旋涂覆盖氧化锌微纳米结构(12)的第一高分子溶液涂层(13),使得氧化锌微纳米结构(12)能够被完全覆盖,然后固化该第一高分子溶液涂层(13);S4:在待转移的目标柔性基底(20)上同样旋涂第二高分子溶液涂层(21),并固化第二高分子溶液涂层(21);S5:目标柔性基底(20)具有第二高分子涂层的一面与暂存基板(10)的氧化锌微纳米结构(12)结合,同时施加压力和加热并保持一段时间,使得目标柔性基底(20)的第二高分子涂层和暂存基板(10)的第一高分子涂层热熔结合在一起;S6:冷却后,目标柔性基底(20)与暂存基板(10)分离,即将暂存基板(10)的氧化锌微纳米结构(12)转移至目标柔性基底(20)上;步骤S1的具体方法为:S11:在暂存基板(10)上沉积一层光阻层;S12:采用电子束对光阻层进行曝光和显影形成阵列设置的开孔。
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