买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司申请的专利一种制作MEMS开关器件的方法、装置、设备及可读介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274365B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210915412.2，技术领域涉及：H01H59/00；该发明授权一种制作MEMS开关器件的方法、装置、设备及可读介质是由余志伟设计研发完成，并于2022-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种制作MEMS开关器件的方法、装置、设备及可读介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种制作欧姆接触式MEMS开关器件的方法、装置、设备及可读介质，方法包括：在第一基底的绝缘层表面通过掩膜刻蚀法制备出接触电极和驱动电极，并通过化学气相沉积法分别在接触电极和驱动电极的表面镀上第一单层石墨烯层；在第二基底的绝缘层表面通过掩膜刻蚀法制备出可动电极，并通过化学气相沉积法在可动电极的表面镀上第二单层石墨烯层；采用湿法刻蚀除去第二基底的绝缘层的预设部分；将第一基底与第二基底通过键合的方式组装在一起以形成具有单层石墨烯涂层的欧姆接触式MEMS开关。通过使用本发明的方案，能够增加MEMS开关器件的寿命，能够减小MEMS开关器件的接触电阻。

本发明授权一种制作MEMS开关器件的方法、装置、设备及可读介质在权利要求书中公布了：1.一种制作欧姆接触式MEMS开关器件的方法，其特征在于，包括以下步骤：在第一基底的绝缘层表面通过掩膜刻蚀法制备出接触电极和驱动电极，并通过化学气相沉积法分别在接触电极和驱动电极的表面镀上第一单层石墨烯层；其中，在第一单层石墨烯层生长过程中保持气流的方向为恒定的方向；在第二基底的绝缘层表面通过掩膜刻蚀法制备出可动电极，并通过化学气相沉积法在可动电极的表面镀上第二单层石墨烯层；其中，通过刻蚀得到具有U型槽形状的基底，并通过氧化得到绝缘层，再在绝缘层的表面通过掩膜刻蚀法制备出可动电极，在第二单层石墨烯层生长过程中保持气流的方向为所述恒定的方向；采用湿法刻蚀除去第二基底的绝缘层的预设部分；将第一基底与第二基底通过键合的方式组装在一起以形成具有单层石墨烯涂层的欧姆接触式MEMS开关。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司，其通讯地址为：250000 山东省济南市中国(山东)自由贸易试验区济南片区浪潮路1036号浪潮科技园S01楼35层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。