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龙图腾网恭喜苏州汇富弘自动化科技有限公司申请的专利一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115593925B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211045756.9，技术领域涉及：B65G47/90；该发明授权一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置是由余丞宏设计研发完成，并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置，包括机架，安装在机架上的挂具周转机构，挂具夹持翻转机构，横移模组，巡边机构，清洗机构，多个晶圆供料机构及转运机械手，同时横移模组上安装有外盖开合机构和内圈搬移机构，挂具夹持翻转机构位于中间位置，夹持挂具周转机构内的导电挂具，将其翻转移动至上下料工位，外盖开合机构与内圈搬移机构位于上下料工位两侧，分别实现外盖旋开及内圈搬移操作，转运机械手位于上下料工位一侧，巡边机构，清洗机构，多个晶圆供料机构环设在转运机械手四周，并位于转运机械手的操作范围内。

本发明授权一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置，其特征在于：包括机架，安装在机架上的挂具周转机构，挂具夹持翻转机构，横移模组，巡边机构，清洗机构，多个晶圆供料机构及转运机械手，同时横移模组上安装有外盖开合机构和内圈搬移机构；所述挂具周转机构包括底板，多个左右移动模组，前后移动模组及U型挂架，多个左右移动模组平行设置在底板上，包括滑轨，与滑轨相平行的传送同步带，所述传送同步带为双面齿同步带，通过一端的驱动电机控制其传送，所述前后移动模组与左右移动模组相垂直布置，前后移动模组的滑块上固定有连接滑轨，该连接滑轨上安装有挂架滑块，前后移动模组控制滑块来回滑动，使得连接滑轨与对应左右移动模组的滑轨拼接，从而使得挂架滑块由连接滑轨移动至滑轨上，所述U型挂架安装在挂架滑块上，其底面两侧设有与同步带齿相配合的齿条；所述挂具夹持翻转机构位于挂具周转机构一侧，夹紧导电挂具将其翻转移动至上下料工位；所述晶圆供料机构用来装载未加工的晶圆及已加工的晶圆；所述外盖开合机构与内圈搬移机构位于上下料工位两侧，分别实现外盖旋拧及内圈搬移操作；转运机械手位于上下料工位一侧，巡边机构，清洗机构，多个晶圆供料机构环设在转运机械手四周，并位于转运机械手的操作范围内；所述内圈搬移机构包括内圈夹爪模组及承载台，所述内圈夹爪模组对内圈进行夹持搬移至承载台，同步实现晶圆的取放；所述旋转式晶圆挂具具有相互垂直设置的第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板表面固定有配重块，第二支撑板的单面或双面固定有环形底座，环形底座上依次设有晶圆，密封内圈及外盖，且外盖与环形底座螺纹拧装，将密封内圈压紧在晶圆的无效带处；转运机械手移动至晶圆下方，通过晶圆取放叉托举晶圆，并送入清洗机构，对处理好的晶圆进行清洗，清洗的过程中，转运机械手将未加工的晶圆送至巡边机构，进行定位槽和圆形的巡边纠偏，然后再通过转运机械手将巡边后的晶圆托举送至导电挂具上方，通过内圈夹爪模组夹住晶圆，并放置到导电挂具的环形底座上，实现晶圆的上料，然后再将承载台上的密封内圈夹持放置到晶圆上方，然后外盖开合机构将外盖再次旋拧装配实现密封操作。

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