恭喜上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司顾文俊获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司申请的专利一种特气供应高压测漏补偿设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115654371B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211279952.2，技术领域涉及：F17D1/02；该发明授权一种特气供应高压测漏补偿设备是由顾文俊设计研发完成，并于2022-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种特气供应高压测漏补偿设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种特气供应高压测漏补偿设备，包括钢瓶接头、工艺气出口、吹扫氮气、高压侧漏气体、真空产生器气源、排气口、排风口、扩充口和串口。本发明与现有技术相比的优点在于：室外硅烷站现场更换特气钢瓶后，需要对钢瓶接口进行高压保压测试，本专利技术将不在受室外环境温度变化的影响，测试结果准确率更高。降低了现场操作的误判率，提高了安全生产的技术要求。
本发明授权一种特气供应高压测漏补偿设备在权利要求书中公布了：1.一种特气供应高压测漏补偿设备，包括钢瓶接头1、工艺气出口2、吹扫氮气3、高压侧漏气体4、真空产生器气源5、排气口6、排风口7、扩充口8和串口9，其特征在于：所述钢瓶接头1分设于两侧，钢瓶接头1连接高压三通气动阀10，钢瓶接头1和高压三通气动阀10之间安装有压力传感器11，高压三通气动阀10上串联过流量开关12，过流量开关12并联高压三通气动阀二13和高压三通气动阀三14，高压三通气动阀二13串联两通手动阀15和单向阀16，高压三通气动阀三14串联调压阀17、压力传感器11和低压两通气动阀19，单向阀16和两通手动阀15之间通过低压三通气动阀20并联高压三通气动阀三14管路，低压两通气动阀19上串联有过滤器21和两通手动阀15，两个钢瓶接头1管路并联；连接扩充口8和串口9的管路靠近钢瓶接头1的压力传感器11上连接有PLC18，PLC18连接温度计。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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