恭喜有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司朱孜毅获国家专利权
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龙图腾网恭喜有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司申请的专利一种CoFeB靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288196B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211610998.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种CoFeB靶材及其制备方法是由朱孜毅;杨文魁;何金江;罗俊锋;李勇军;吕保国;宿晓敖;徐国进设计研发完成，并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CoFeB靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及溅射靶材技术领域，尤其涉及一种CoFeB靶材及其制备方法，制备方法包括如下步骤：1原材料坯料熔融；2二次加料；3搅拌；4熔体浇铸；5靶材制备。本发明的制备方法依次经过原材料坯料熔融、二次加料、搅拌后进行熔体浇铸直接得到组织均匀、性能良好的CoFeB铸锭，后续通过切片、机加工及焊接等工序制备得到CoFeB靶材，得到的CoFeB靶材具有密度高、组织均匀、氧含量低≤100wtppm等优点，能满足磁控溅射要求，可被广泛应用于制备磁头、磁阻传感器以及磁阻元件MRAM等领域。本发明的制备方法还可有效解决B含量升高带来的塑性差、易开裂问题。
本发明授权一种CoFeB靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种CoFeB靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1原材料坯料熔融：将含钴、铁、硼的原材料坯料熔炼至融化，以得到熔液；所述原材料坯料的熔点≤1200℃；2二次加料：在T℃下，将含硼的二次加料粉体加入至步骤1得到的所述熔液中，再进行保温处理，得到合金熔体；其中，所述原材料坯料的熔点≤T℃＜所述二次加料粉体的熔点；3搅拌：将步骤2得到的所述合金熔体进行搅拌至所述二次加料粉体均匀分布于所述熔液中；4熔体浇铸：将经过步骤3处理后的所述合金熔体进行浇铸成型，得到CoFeB铸锭；5靶材制备：采用步骤4得到的所述CoFeB铸锭制备得到CoFeB靶材。
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