恭喜等离子瑟姆NES有限公司萨尔班加拉·哈里哈拉克沙瓦·海格德获国家专利权
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龙图腾网恭喜等离子瑟姆NES有限公司申请的专利用于在溅射系统内提高靶利用率的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119013761B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380034407.3，技术领域涉及：H01J37/34；该发明授权用于在溅射系统内提高靶利用率的方法是由萨尔班加拉·哈里哈拉克沙瓦·海格德;文森特·C·李;卫-华·萧;约瑟夫·巴拉科设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在溅射系统内提高靶利用率的方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种用于提高溅射系统内的靶利用率的方法。提供了多个靶，其中，每个靶操作地连接到中心轴。在溅射系统内生成离子束。在第一时间段内生成的离子束被引导到第一靶的第一位置处。通过旋转中心轴移动每个靶。在第二时间段内生成的离子束被引导到第一靶的第二位置处。
本发明授权用于在溅射系统内提高靶利用率的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在溅射系统内提高靶利用率的方法，包括以下步骤：提供多个靶，所述多个靶中的每个靶操作地连接到靶保持器，所述多个靶中的每个靶沿着所述溅射系统的大致圆形托板的外部定位，所述圆形托板具有中心轴；在所述溅射系统内生成第一离子束；将生成的所述第一离子束引导到第一靶的第一位置处；中断所述第一离子束的生成；旋转所述圆形托板的所述中心轴；在所述溅射系统内生成第二离子束；以及将生成的所述第二离子束引导到所述第一靶的第二位置处。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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