恭喜南京理工大学;南京英特飞光电技术有限公司徐闻泽获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京理工大学;南京英特飞光电技术有限公司申请的专利一种斜入射下的干涉角度标定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118209062B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410083538.7,技术领域涉及:G01B11/30;该发明授权一种斜入射下的干涉角度标定方法是由徐闻泽;何勇;王青;朱日宏;陈磊;吴志飞;黄晨设计研发完成,并于2024-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种斜入射下的干涉角度标定方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种斜入射下的干涉角度标定方法,由于入射角的准确度直接相关于测量精度。特别是在大角度斜入射掠入射的情况下,微小的角度变化将引起极大的结果波动。因此本发明设计了一块经过标定的棱镜标准器,辅以干涉为基础的高精度角度对准方法,实现秒级的入射角度校准。本发明的校准方法只需要在测量仪初次安装时进行校准,其原理是校准并固定掠入射光束与反射光束的夹角,与被测件无关。样品测量过程只调整被测件干涉条纹达到要求,则入射角度可同时达到要求。
本发明授权一种斜入射下的干涉角度标定方法在权利要求书中公布了:1.一种在斜入射下的干涉角度标定方法,其特征在于,步骤如下:步骤1、搭建斜入射干涉测量系统:所述斜入射干涉测量系统,包括角度标准器(1)、干涉仪(2)和高反射镜(3);角度标准器(1)为梯形棱镜,其顶面和底面为长方形,顶面长度小于底面长度,其余四个面均为等腰梯形,左右两个侧面的面积相等,前后两个侧面的面积相等,且左侧面面积小于前侧面面积;步骤2、将角度标准器(1)放置在干涉仪(2)和高反射镜(3)之间,干涉仪(2)和高反射镜(3)分别通过支架倾斜架设,角度标准器(1)和两个支架放置在水平台上;步骤3、调整棱镜位置使得光束经由角度标准器(1)的入射斜边面形成干涉条纹,并使其干涉条纹最少;步骤4、继续调整棱镜位置使通过棱镜底面反射的光束照射到高反射镜(3),调整高反射镜(3)的二维倾斜俯仰,使光束原路返回,出现干涉条纹,并使得干涉条纹最少;步骤5、固定干涉仪(2)和高反射镜(3)角度位置,校准完成。
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