恭喜深圳市镭煜科技有限公司臧伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市镭煜科技有限公司申请的专利一种磁控靶3D磁场检测系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222882829U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420604173.3,技术领域涉及:G01R33/02;该实用新型一种磁控靶3D磁场检测系统是由臧伟;罗能铁设计研发完成,并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控靶3D磁场检测系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种磁控靶3D磁场检测系统,包括工作台、控制箱、显示装置,以及三维磁场检测仪,三维磁场检测仪包括Y轴移动组件和安装于其上并可沿其直线移动的单悬臂,单悬臂的竖直段上设有Z轴移动组件,Z轴移动组件上设有第一滑块,在第一滑块上安装固定有X轴移动组件,在X轴移动组件上设有第二滑块,第二滑块上安装固定有高斯计检测头;磁场检测时,磁控靶放置于工作台面上。本申请利用Y轴移动组件、X轴移动组件和Z轴移动组件协同配合,使得高斯计检测头在三维空间内进行多方位的磁场测试,提高测试效果和结果的精准,为磁控靶后续的工作提供数据支撑。且Y轴移动组件安装于工作台台面下,减少检测仪的位置影响,简化检测步骤。
本实用新型一种磁控靶3D磁场检测系统在权利要求书中公布了:1.一种磁控靶3D磁场检测系统,其特征在于,包括工作台、控制箱、显示装置和三维磁场检测仪,所述显示装置、所述三维磁场检测仪分别与所述控制箱电连接;所述三维磁场检测仪包括固定于所述工作台台面下的Y轴移动组件,所述Y轴移动组件上安装有可沿Y轴直线移动的单悬臂,所述单悬臂从所述工作台平行Y轴的一侧凸伸到台面上方,所述单悬臂的竖直段上设有Z轴移动组件,所述Z轴移动组件上设有第一滑块,在所述第一滑块上安装固定有X轴移动组件,所述X轴移动组件可随所述第一滑块沿Z轴直线移动,在所述X轴移动组件上设有第二滑块,所述第二滑块上安装固定有高斯计检测头,所述高斯计检测头可随所述第二滑块沿X轴直线移动;磁场检测时,待测磁控靶放置于所述工作台台面上。
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