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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利一种用于在衬底上执行原子层蚀刻(ALE)的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113013032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110082157.3，技术领域涉及：H01L21/311；该发明授权一种用于在衬底上执行原子层蚀刻(ALE)的方法是由安德列亚斯·费希尔;索斯藤·利尔;理查德·雅内克;约翰·博尼法斯设计研发完成，并于2017-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于在衬底上执行原子层蚀刻(ALE)的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于在衬底上执行原子层蚀刻ALE的方法，其包括以下操作：在所述衬底的表面上执行表面改性操作，所述表面改性操作配置为将所述衬底表面的至少一个单层转化为改性层；在所述衬底表面上执行去除操作，所述去除操作被配置为从所述衬底表面去除所述改性层，其中去除所述改性层包括将所述衬底表面暴露于金属络合物，使得所述配体交换反应发生在所述金属络合物与所述改性层的经转化的物质之间；在所述去除操作之后，在所述衬底表面上执行等离子体处理，所述等离子体处理被配置为去除从所述衬底表面暴露于所述金属络合物中形成的残留物，其中所述残留物通过所述等离子体处理而挥发；重复前述操作，直到已经从所述衬底表面蚀刻预定厚度。

本发明授权一种用于在衬底上执行原子层蚀刻(ALE)的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在衬底上执行原子层蚀刻ALE的方法，其包括：a在所述衬底的表面上执行表面改性操作，所述表面改性操作配置为将所述衬底表面的至少一个单层转化为改性层；b在所述衬底表面上执行去除操作，所述去除操作被配置为从所述衬底表面去除所述改性层，其中去除所述改性层包括将所述衬底表面暴露于金属络合物，使得配体交换反应发生在所述金属络合物与所述改性层的经转化的物质之间；c在所述去除操作之后，在所述衬底表面上执行等离子体处理，所述等离子体处理被配置为去除从所述衬底表面暴露于所述金属络合物中形成的残留物，其中所述残留物包括所述金属络合物中的金属元素并通过所述等离子体处理而挥发；d重复操作a至c，直到已经从所述衬底表面蚀刻预定厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。