恭喜朗姆研究公司卡皮尔·索拉尼获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109698144B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811223497.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法是由卡皮尔·索拉尼;盖瑞·B·利德;迈克尔·丹克;罗纳德·鲍威尔;迈克尔·拉莫;卡伊翰·阿什蒂亚尼设计研发完成，并于2018-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法。一种系统包括安装在处理室的窗外部并邻近所述窗的相机，所述处理室被配置成处理半导体衬底。所述窗使得所述相机能观察到所述处理室内的部件。所述相机被配置为于在正在所述处理室内执行的处理期间生成指示所述部件的状态的视频信号。该系统还包括耦合到所述处理室上的控制器。该控制器被配置成：控制所述相机；处理来自所述相机的所述视频信号；根据对所述视频信号的所述处理确定所述部件的状态；以及根据所述部件的所述状态确定是否终止所述处理。
本发明授权使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包括：安装在处理室的窗外部并邻近所述窗的相机，所述处理室被配置成处理半导体衬底，所述窗使得所述相机能观察到所述处理室内的部件，所述相机被配置为在正在所述处理室内执行的处理期间生成指示所述部件的状态的视频信号；光学滤波器，其布置在所述相机和所述窗之间，所述光学滤波器被配置为过滤通过所述窗从所述部件接收的光的一种或多种波长，并将过滤后的信号输出到所述相机；以及控制器，其耦合到所述处理室并被配置成：控制所述相机；处理来自所述相机的所述视频信号；基于使用光学干涉处理所述过滤后的信号来确定所述部件的状态；以及基于所述部件的所述状态确定是否终止所述处理，其中，所述控制器被配置为确定在所述部件上的不同位置处执行所述处理的速率。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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