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恭喜博鲁可斯自动化美国有限责任公司C·A·巴西雷获国家专利权

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龙图腾网恭喜博鲁可斯自动化美国有限责任公司申请的专利衬底输送设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112602185B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980032815.9,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权衬底输送设备是由C·A·巴西雷;B·R·塔什简设计研发完成,并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

衬底输送设备在说明书摘要公布了:一种衬底输送设备,其包括:扭转运动驱动器部件,其具有包绕扭转运动驱动器部件的旋转轴线的外周边;以及扭转运动随动器部件,其包括主体部分和可旋转地联接到主体部分的轴承环,扭转运动随动器部件利用尺寸基本上不变的接口联接到扭转运动驱动器部件,其中轴承环与扭转运动驱动器部件的外周边分离,使得外周边整体上脱离轴承环。

本发明授权衬底输送设备在权利要求书中公布了:1.一种衬底输送设备,包括:扭转运动驱动器部件,其具有包绕所述扭转运动驱动器部件的旋转轴线的外周边;以及扭转运动随动器部件,其包括主体部分和可旋转地联接到所述主体部分的轴承环,所述扭转运动随动器部件利用尺寸不变的接口联接到所述扭转运动驱动器部件,其中,所述尺寸不变的接口是刚性的、不滑动的接口,并且所述轴承环与所述扭转运动驱动器部件的所述外周边分离,使得所述外周边整体上脱离所述轴承环。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人博鲁可斯自动化美国有限责任公司,其通讯地址为:美国马萨诸塞州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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