恭喜朗姆研究公司丹尼斯·豪斯曼获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112567499B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980052566.X，技术领域涉及：H01L21/28；该发明授权用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法是由丹尼斯·豪斯曼;伊尔哈姆·莫希米;张鹏翼;保罗·C·莱曼利;卡希什·沙玛;亚力山大·R·福克斯;纳格拉杰·尚卡尔;卡普·瑟里什·雷迪;大卫·查尔斯·史密斯设计研发完成，并于2019-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法在说明书摘要公布了：一种用于改善选择性沉积工艺中的金属的选择性的方法。用于金属的预处理工艺修饰金属表面，并且包括首先从金属去除有机污染物而还原金属，随后氧化金属以使金属氧化物的单层在表面上生长。该金属修饰使得抑制剂分子能吸附至金属氧化物的单层上，从而改善选择性。
本发明授权用于改善选择性沉积工艺中的选择性的预处理方法在权利要求书中公布了：1.一种用于改善金属的选择性的方法，其包含：在半导体处理室中提供衬底，所述衬底具有在介电层中形成的金属线；通过从所述金属去除有机污染物而使所述金属从金属氧化物还原为金属；在还原所述金属之后，氧化所述金属并使金属氧化物的单层在所述金属的表面上生长；以及在使所述单层生长之后，沉积仅对所述金属有选择性的抑制剂分子，并且使所述抑制剂分子吸附至所述金属氧化物的单层上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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