恭喜应用材料公司邵寿潜获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利进行调谐以改善等离子稳定性的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114503238B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980099804.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权进行调谐以改善等离子稳定性的方法是由邵寿潜;周建华;袁泰京设计研发完成，并于2019-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本进行调谐以改善等离子稳定性的方法在说明书摘要公布了：本文描述的实施方式涉及在半导体工艺内进行调谐以改善等离子体稳定性的方法。在这些实施方式中，提供多个匹配网络。所述匹配网络中的每一个匹配网络将射频RF源耦接到位于电极上的多个连接点中的一个连接点。基于调谐参数信息和物理几何信息，控制器确定所述多个匹配网络的调谐顺序。如此，所述匹配网络中的一些匹配网络被调谐，而其他匹配网络被锁定。使用多个匹配网络使处理腔室的处理空间内产生更均匀的等离子体。改善的等离子体均匀性使基板缺陷更少且器件性能更好。此外，在这些实施方式中，用于以一种顺序调谐所述匹配网络中的每一个匹配网络的能力减少或防止在所述匹配网络之间发生干扰。
本发明授权进行调谐以改善等离子稳定性的方法在权利要求书中公布了：1.一种在等离子体处理工艺期间进行调谐的方法，包括：由控制器从多个匹配网络中的每个匹配网络接收调谐参数信息，其中所述多个匹配网络中的每个匹配网络将射频RF电源耦接到电极的多个连接点中的一个连接点；基于由所述控制器接收到的所述调谐参数信息，确定用于所述多个匹配网络的调谐顺序；以及调谐所述多个匹配网络中的一个匹配网络，而同时地锁定所述多个匹配网络的每个剩余匹配网络。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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