恭喜朗姆研究公司安东尼·保罗·万塞洛获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利自动校准工艺独立前馈控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110896044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910861633.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权自动校准工艺独立前馈控制是由安东尼·保罗·万塞洛设计研发完成，并于2019-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动校准工艺独立前馈控制在说明书摘要公布了：本发明涉及自动校准工艺独立前馈控制。一种用于处理衬底的衬底处理系统包括传感器，其用于生成所述衬底处理系统的参数的感测值。致动器调整所述衬底处理系统的所述参数。控制器与所述传感器和所述致动器通信并被配置为：在工艺期间，在没有前馈控制的情况下，通过使用所述感测值以调整用于控制所述致动器的控制值来处理第一衬底。所述感测值被延迟并导致所述参数的不稳定性。所述控制器还被配置为基于所述感测值和所述控制值自动校准用于处理第二衬底的前馈值；以及在使用所述前馈值控制所述致动器的同时处理所述第二衬底。
本发明授权自动校准工艺独立前馈控制在权利要求书中公布了：1.一种用于处理衬底的衬底处理系统，所述衬底处理系统包括：传感器，其用于生成所述衬底处理系统的参数的感测值；致动器，其用于调整所述衬底处理系统的所述参数；和控制器，其与所述传感器和所述致动器通信并被配置为：在工艺期间，在没有前馈控制的情况下，通过使用所述感测值以调整用于控制所述致动器的控制值来处理第一衬底，其中所述感测值被延迟并导致所述参数的不稳定性；基于所述感测值和所述控制值自动校准用于处理第二衬底的前馈值，其中，自动校准所述前馈值包括：将所述感测值时移延迟时段以产生时移的感测值；确定在所述工艺的多个蚀刻或沉积步骤期间的所述时移的感测值的变化；基于在所述多个蚀刻或沉积步骤中的相应一个步骤期间的所述感测值的所述变化来确定用于所述工艺的所述多个蚀刻或沉积步骤的所述前馈值；以及在使用所述前馈值控制所述致动器的同时处理所述第二衬底。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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