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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利带电粒子源模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114937585B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210698168.9，技术领域涉及：H01J37/065；该发明授权带电粒子源模块是由L·迪努-格尔特勒;E·P·霍杰沃斯特;J·范索伊斯特设计研发完成，并于2018-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本带电粒子源模块在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块，包括：框架，包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在第一框架部分和第二框架部分之间的并且刚性地连接至它们的一个或多个刚性支撑构件，框架包括安装构件，安装构件通过挠曲连接件而连接到第二框架部分；用于产生带电粒子束的带电粒子源装置，其中带电粒子源装置被布置在第二框架部分处，包括：发射器装置，被配置用于发射带电粒子；以及电极，用于从由发射器装置发射的带电粒子形成带电粒子束；和布置在第一框架部分处的电力连接组件，电力连接组件刚性地连接到第一框架部分，并且带电粒子源装置刚性地连接到第二框架部分，其中带电粒子源装置经由电线电连接至电力连接组件。

本发明授权带电粒子源模块在权利要求书中公布了：1.一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块，包括：-框架，所述框架包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在所述第一框架部分和所述第二框架部分之间的并且刚性地连接至所述第一框架部分和所述第二框架部分的一个或多个刚性支撑构件，所述框架包括紧固构件，所述紧固构件通过挠曲连接件而连接到所述第二框架部分且用于将所述带电粒子源模块固定到用于接收所述带电粒子束的带电粒子光学系统；-用于产生带电粒子束的带电粒子源装置，其中所述带电粒子源装置被布置在所述第二框架部分处，所述带电粒子源装置包括：发射器装置，所述发射器装置被配置用于发射带电粒子；以及电极，所述电极用于从由所述发射器装置发射的所述带电粒子形成带电粒子束；和-布置在所述第一框架部分处的电力连接组件，所述电力连接组件刚性地连接到所述第一框架部分，并且所述带电粒子源装置刚性地连接到所述第二框架部分，其中所述带电粒子源装置经由电线电连接至所述电力连接组件，以及其中所述第二框架部分包括环形安装板，每个所述挠曲连接件包括设置在所述环形安装板的外周处的连接唇，并且在所述连接唇中限定固定孔径以接收所述紧固构件。

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