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龙图腾网恭喜中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119275169B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411201174.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法是由朱玉东;常志勇;孟君燕;温宁设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法，涉及半导体技术领域，驱动组件至少包括驱动集成部，所述驱动集成部包括多个并列排布设置的直驱电机，且具有多个传动层级高度；其中，所述驱动集成部的其中一个所述直驱电机驱动所述第一臂绕第二臂的肘部回转中心旋转，另外的所述直驱电机分别驱动至少两个末端执行器绕第一臂的腕部回转中心在不同的高度上进行相对旋转。本发明用于在晶圆搬运过程中对末端驱动器进行驱动，驱动组件在晶圆搬运过程中用于提供驱动力，驱动组件至少解决了电机纵向重叠占用空间较大的技术问题；晶圆搬运装置用于搬运晶圆，晶圆搬运装置至少解决了末端执行器转动角度受限制，传片节拍效率较低的技术问题。

本发明授权一种驱动组件、晶圆搬运装置及晶圆搬运方法在权利要求书中公布了：1.一种驱动组件，应用于晶圆搬运装置，所述晶圆搬运装置包括主支撑体100、第一臂110、第二臂200和至少两个可发生相对转动的末端执行器120，其特征在于，主支撑体100端部具有所述第二臂200，第二臂200延伸至主支撑体100外部，所述驱动组件设置在所述第二臂200的肩部关节处，所述驱动组件包括驱动集成部，所述驱动集成部包括多个并列排布设置的直驱电机150，且具有多个传动层级高度；其中，所述驱动集成部的其中一个所述直驱电机150驱动所述第一臂110绕第二臂200的肘部回转中心旋转，另外的所述直驱电机150分别驱动至少两个所述末端执行器（120）绕所述第一臂110的腕部回转中心在不同的高度上进行相对旋转；所述主支撑体100呈筒状，且所述主支撑体100内部呈中空设置，多个所述直驱电机150均固定设置于所述主支撑体100上，所述主支撑体100底部设置有用于带动所述主支撑体100沿水平方向转动的驱动器190，启动所述驱动器190带动所述主支撑体100转动，从而带动所述第二臂200转动。

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