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龙图腾网恭喜上海车仪田科技有限公司申请的专利一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119124028B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411586792.5，技术领域涉及：G01B11/22；该发明授权一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备是由张黎明;丁亮亮;肖亦然;郭军涛;云燕午;唐凯设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备，包括：用于收集刻蚀腔体内光学信号的信号收集模块；分别用于在不同工艺场景下接收并处理光学信号的干涉终点检测功能模块和光学发射光谱终点检测功能模块，其中干涉终点检测功能模块包括用于在第一工艺场景下为检测提供光源的氙灯光源，用于为氙灯光源供电的升压供电模块。本发明通过集成OES与IEP功能并进行抗干扰设计形成一个整机，同时进行干涉终点检测与光学发射光谱终点检测，实现了一台设备通过集成双检测功能进行刻蚀终点的精准检测。本发明还缩小了单一功能设备所占用的较大分散空间，最小化集成体积提高了空间利用率。

本发明授权一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备在权利要求书中公布了：1.一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备，其特征在于：包括：信号收集模块，用于收集刻蚀腔体内的第一光学信号或第二光学信号；干涉终点检测功能模块，设置于所述第一光学信号的光路上，用于在第一工艺场景下接收所述第一光学信号，并将所述第一光学信号转化为第一电信号，以及将所述第一电信号传输给目标工控机；所述干涉终点检测功能模块还包括氙灯光源、升压供电模块和第一光谱模组，其中，所述升压供电模块用于给所述氙灯光源供电；所述第一光谱模组用于接收来自所述信号收集模块的所述第一光学信号并将其转化为所述第一电信号；所述升压供电模块包括第一电路板和第一屏蔽外壳，所述第一电路板安装于所述第一屏蔽外壳内部；光学发射光谱终点检测功能模块，设置于所述第二光学信号的光路上，用于在第二工艺场景下接收所述第二光学信号，并将所述第二光学信号转化为第二电信号，以及将所述第二电信号传输给目标工控机；所述光学发射光谱终点检测功能模块包括第二光谱模组，所述第二光谱模组和所述信号收集模块连接，用于接收来自所述信号收集模块的所述第二光学信号并将其转为所述第二电信号；所述第一光谱模组和所述第二光谱模组外部罩设有屏蔽罩，所述屏蔽罩用于屏蔽外部电磁干扰；所述第一光谱模组和所述第二光谱模组分别通过多个弹性减震紧固件与所述屏蔽罩连接；所述屏蔽罩电性连接有接地导线；主板，与所述干涉终点检测功能模块和所述光学发射光谱终点检测功能模块电性连接，用于控制干涉终点检测模块和光学发射光谱终点检测功能模块正常工作；主板供电模块，其输入端与外部电源连接，其输出端与所述主板电连接，所述主板供电模块用于给所述主板供电；所述主板供电模块包括第二电路板和第二屏蔽外壳，所述第二电路板安装于所述第二屏蔽外壳内部；设备外壳，所述主板安装于所述设备外壳内部，并将所述设备外壳的内部空间分隔为两个不同的舱室，所述升压供电模块和所述主板供电模块分别安装于不同的舱室。

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