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恭喜西安稀有金属材料研究院有限公司王旭彪获国家专利权

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龙图腾网恭喜西安稀有金属材料研究院有限公司申请的专利一种铝铬合金靶材的短流程制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119407173B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510012051.4,技术领域涉及:B22F3/105;该发明授权一种铝铬合金靶材的短流程制备方法是由王旭彪;吴金平;王作华;刘承泽;刘未;王坤设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种铝铬合金靶材的短流程制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种铝铬合金靶材的短流程制备方法,该方法包括:一、准备粉末原料;二、混匀;三、烘干;四、梯度加热、加压SPS烧结;五、包覆热轧及退火处理;六、机加工、校直、真空退火及清洗处理。本发明采用梯度加热、加压的SPS烧结工艺,不仅获得了合金化完全、组织均匀致密的铝铬合金靶材坯料,极大缩短制备周期,大幅提高生产效率,有效保证了良好的合金化效果,还避免长时间烧结造成晶粒长大和氧含量增加的问题,结合包覆热轧及退火工艺,进一步细化晶粒、提高组织均匀性,消除了SPS单轴压力引起密度均匀性差的问题,同时避免使用价格昂贵的热等静压设备,极大降低生产成本,适合大范围推广应用。

本发明授权一种铝铬合金靶材的短流程制备方法在权利要求书中公布了:1.一种铝铬合金靶材的短流程制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、准备单质铝、铬及辅助合金元素的粉末原料;所述辅助合金元素为硼、钨或硅,且粉末原料中铝、铬、辅助合金元素的原子百分比分别为50%~70%、20%~40%以及不超过10%;步骤二、将步骤一中准备的粉末原料在氩气保护下混合均匀,得到混合粉末;步骤三、在氢氩混合气氛下,将步骤二得到的混合粉末进行还原和烘干处理;步骤四、将步骤三中还原和烘干处理后的混合粉末均匀铺于石墨模具中,然后置于SPS烧结炉中抽真空,采用梯度加热、加压的方式进行SPS烧结,得到烧结坯料;所述采用梯度加热、加压的方式进行SPS烧结的工艺为:第一梯度:无压加热至100℃~200℃保温5min~10min;第二梯度:加压至10MPa~15MPa,加压的同时继续升温至400℃~450℃保温2min~5min;第三梯度:再次加压至40MPa~50MPa,随后升温至温度500℃~580℃,保温5min~30min后完成烧结;第四梯度:关闭加热电源,将压力调至第三梯度加压后压力的12~23,待冷却到室温,再卸压至零,得到烧结坯料;步骤五、将烧结坯料进行包覆热轧及退火处理,获得铝铬合金靶材坯料;步骤六、将步骤五中获得的铝铬合金靶材坯料进行机加工、校直、真空退火及清洗处理,得到铝铬合金靶材;所述铝铬合金靶材的金相组织包括铝基体及均匀分布的铝铬相,平均晶粒尺寸不超过50μm,铝铬合金靶材的质量纯度为99.9%以上,氧含量低于100ppm,整体致密度均匀、无内外偏差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安稀有金属材料研究院有限公司,其通讯地址为:710000 陕西省西安市高新区天谷七路996号西安国家数字出版基地C座2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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