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龙图腾网恭喜西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利用于晶圆键合设备中的烘烤装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560417B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510081572.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于晶圆键合设备中的烘烤装置是由王成君;杨晓东;薛志平;乔丽;段晋胜;李文浩;王涛;王玉亮设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆键合设备中的烘烤装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种用于晶圆键合设备中的烘烤装置，主要解决现有晶圆烘烤装置效率较低的技术问题。本装置设有烘烤箱，烘烤箱的前侧壁设有操作窗口，烘烤箱内设有可独立升降的热盘载箱和顶撑机构，热盘载箱的前侧敞口且与烘烤箱的前侧壁对接形成烘烤腔体，热盘载箱内设有多个加热板，通过热盘载箱的升降能够使不同层的加热板与操作敞口对齐，机械手配合顶撑机构将晶圆放置在对应加热板上，如此实现多个晶圆的同时烘烤，大幅提高了晶圆的烘烤效率。同时，本装置采用加热板与晶圆直接接触的方式进行烘烤，更利于保证烘烤时的温度均匀性，也利于保证退火时的热适配性，避免因异质晶圆的热膨胀系数不同导致的晶圆开裂。

本发明授权用于晶圆键合设备中的烘烤装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆键合设备中的烘烤装置，其特征在于，包括：机架（1）；烘烤箱（2），其固定在所述机架（1）上，所述烘烤箱（2）的前侧壁设有用以避让机械手的操作窗口（21），且所述操作窗口（21）设有开闭阀门（22）；抽真空机构（3），其固定于所述机架（1）上且与所述烘烤箱（2）的内腔连通；热盘载箱（4），其安装在所述烘烤箱（2）内且能沿竖直方向滑动，所述热盘载箱（4）的前侧敞口且与所述烘烤箱（2）的前侧壁对接，所述热盘载箱（4）的顶壁内侧、底壁内侧、左侧壁内侧、右侧壁内侧以及后侧壁内侧皆设有第一热反射屏，所述烘烤箱（2）的前侧壁内侧设有第二热反射屏，所述热盘载箱（4）内固定有多个水平布置的加热板（41）且多个加热板（41）沿竖直方向间隔分布；第一升降杆（5），其密封贯穿所述烘烤箱（2）的底壁且与所述热盘载箱（4）的底壁连接，所述第一升降杆（5）连接有用以驱动其升降的第一驱动件（51），所述第一驱动件（51）通过第一升降杆（5）带动所述热盘载箱（4）升降以使每个加热板（41）皆能与所述操作窗口（21）对齐；顶撑机构（6），其包括安装在所述烘烤箱（2）内且能沿竖直方向滑动的安装架（61），所述安装架（61）上设有多个顶撑组件（62），多个顶撑组件（62）与所述加热板（41）一一对应设置，所述热盘载箱（4）的后侧壁对应多个顶撑组件（62）开设有多个避让窗口（42），所述顶撑组件（62）包括安装板（621），所述安装板（621）的后端固定连接在所述安装架（61）上，所述安装板（621）的前端通过对应避让窗口（42）伸入所述热盘载箱（4）内且位于对应加热板（41）的下方，所述安装板（621）的前端上方固定有顶针（622），所述加热板（41）对应所述顶针（622）的位置开设有通孔；第二升降杆（7），其密封贯穿所述烘烤箱（2）的底壁且位于所述安装架（61）的正下方，所述第二升降杆（7）连接有用以驱动其升降的第二驱动件（71），所述第二驱动件（71）通过第二升降杆（7）顶升所述顶撑机构（6）以使所述顶针（622）能贯穿对应通孔并顶升对应晶圆。

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