恭喜大连芯材薄膜技术有限公司周大雨获国家专利权
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龙图腾网恭喜大连芯材薄膜技术有限公司申请的专利一种具有超低电阻温度系数的第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119779525B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510213114.2，技术领域涉及：G01L1/22；该发明授权一种具有超低电阻温度系数的第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜及制备方法是由周大雨;张斌;寇启迪;亢晓奎设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有超低电阻温度系数的第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜及制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有超低电阻温度系数的第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜及制备方法，属于电阻式薄膜压力传感器和薄膜应变计领域，其包括衬底及沉积在衬底上的功能敏感薄膜，具有低电阻温度系数以及稳定的完全固溶体晶体结构；本发明采用双靶磁控共溅射或合金化单靶磁控溅射方式，获得具有合适电阻率、超低TCR、成分均匀分布的二元A‑B、二元A‑C过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜；采用三靶磁控共溅射或合金化单靶磁控溅射方式获得三元A‑B‑C过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜。本发明制得的多元复合薄膜为单相固溶体结构；工艺简便易行易于调节、结构稳定；可在电阻式薄膜压力传感器和薄膜应变计等领域广泛推广。
本发明授权一种具有超低电阻温度系数的第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有超低电阻温度系数的第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜，其特征在于，所述第四副族过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜包括衬底及沉积在所述衬底上的功能敏感薄膜，具有低电阻温度系数以及稳定的完全固溶体晶体结构，具体包括二元A-B或二元A-C或三元A-B-C过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜；所述二元A-B或二元A-C或三元A-B-C过渡金属氮化物固溶体应变敏感薄膜中，组分A含有特征元素Ti，组分B含有特征元素Zr，C含有特征元素Hf；组分A、B、C均为第四副族过渡金属氮化物；所述组分A的电阻温度系数为正，组分B和组分C的电阻温度系数均为负。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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