恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司徐春阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利设有固定基座的气相生长设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119776809B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510258671.6，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权设有固定基座的气相生长设备是由徐春阳;张志明;颜邦纯;邢志刚;张伟设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本设有固定基座的气相生长设备在说明书摘要公布了：本发明公开了设有固定基座的气相生长设备，包括工艺腔室、旋转密封机构、设于所述工艺腔室内的固定基座、第一加热装置和匀热装置；所述固定基座，用于承载衬底；所述第一加热装置设于所述固定基座与所述工艺腔室的底壁之间，以向所述固定基座提供热量；所述匀热装置位于所述固定基座与所述第一加热装置之间；所述旋转密封机构动密封设于所述工艺腔室的底壁，贯穿所述第一加热装置后与所述匀热装置连接，用于驱动所述匀热装置相对于所述固定基座转动，能够使得固定基座与第一加热装置之间的温场均匀性提高，有利于衬底表面的温度均匀性。
本发明授权设有固定基座的气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种设有固定基座的气相生长设备，其特征在于，包括工艺腔室100、旋转密封机构200、设于所述工艺腔室100内的固定基座110、第一加热装置120和匀热装置130；所述固定基座110，用于承载衬底；所述第一加热装置120设于所述固定基座110与所述工艺腔室100的底壁之间，以向所述固定基座110提供热量；所述匀热装置130位于所述固定基座110与所述第一加热装置120之间；所述旋转密封机构200动密封设于所述工艺腔室100的底壁，贯穿所述第一加热装置120后与所述匀热装置130连接，用于驱动所述匀热装置130相对于所述固定基座110转动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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