恭喜应用材料公司奥利弗·海默尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114258584B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980099369.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法是由奥利弗·海默尔;迈克尔·斯科尔斯;克劳斯·施勒设计研发完成，并于2019-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于横向地移动载体的路径切换组件150。所述路径切换组件150包括一个或多个可枢转载体传送元件152，所述一个或多个可枢转载体传送元件用于在路径切换方向S上将载体10从第一运输路径T1移动到侧向地偏移的第二运输路径T2。另外，描述了一种包括所述路径切换组件的腔室、一种包括所述腔室的处理系统、一种切换载体的运输路径的方法和一种处理基板的方法。
本发明授权路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法在权利要求书中公布了：1.一种路径切换组件150，所述路径切换组件150包括一个或多个可枢转载体传送元件152，所述一个或多个可枢转载体传送元件用于在路径切换方向S上将载体10从第一运输路径T1移动到侧向地偏移的第二运输路径T2，所述一个或多个可枢转载体传送元件152具有竖直旋转轴线155，并且所述一个或多个可枢转载体传送元件152包括用于保持所述载体10的载体保持接口154，所述载体保持接口154具有允许围绕竖直轴线的旋转移动的耦接件，所述一个或多个可枢转载体传送元件152包括具有第一旋转轴线155A的第一可枢转载体传送元件152A和具有平行于所述第一旋转轴线155A的第二旋转轴线155B的第二可枢转载体传送元件152B。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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