恭喜川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所张心强获国家专利权
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龙图腾网恭喜川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所申请的专利导气垫圈及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110411613B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910833186.1，技术领域涉及：G01L1/00；该发明授权导气垫圈及其制造方法是由张心强;靳毅;陈林;郜晨希;王迪;林琳;郑旭;远雁;刘瑞琪;李超波设计研发完成，并于2019-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本导气垫圈及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种导气垫圈及其制造方法，属于专用于制造传感器的设备技术领域，其中，导气垫圈为环形结构，包括：垫圈本体，为环形结构，具有上、下两个结合面；导气凹槽，设置在所述垫圈本体的至少一个所述结合面上，所述导气凹槽连通所述垫圈本体的内外两侧；本发明的导气垫圈，在使用时，通过导气凹槽将垫圈本体的内外两侧连通，在不改变垫圈本体原来厚度的前提下，使垫圈本体内圈的空气在抽真空时，能够快速高效的排出，从而避免气体陷入在环形垫圈的内部，提高传感器在超高真空排气时的排气效率和排气效果。
本发明授权导气垫圈及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种导气垫圈，其特征在于，用于传感器，包括：垫圈本体1，为环形结构，具有上、下两个结合面；导气凹槽2，设置在所述垫圈本体1的至少一个所述结合面上，所述导气凹槽2连通所述垫圈本体1的内外两侧；导气缝隙4，设置在所述垫圈本体1的被所述导气凹槽2围绕的支撑台阶3的端面上，所述导气缝隙4的两端分别连通所述导气凹槽2；使用时，将垫圈本体1依次堆叠，堆叠时使两片垫圈本体1之间通过支撑台阶3进行支撑；在传感器进行抽真空排气时，相邻两垫圈本体1之间的气体通过所述导气凹槽2和所述导气缝隙4排出。
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