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龙图腾网恭喜安徽英发睿能科技股份有限公司申请的专利自动化硅片输送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110718494B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911133108.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权自动化硅片输送装置是由张杰设计研发完成，并于2019-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本自动化硅片输送装置在说明书摘要公布了：本申请涉及硅片镀膜技术领域，尤其涉及一种自动化硅片输送装置，包括用于装载硅片并进行背面镀膜的背膜石墨舟；用于装载硅片并进行正面镀膜的正膜石墨舟；位于背膜石墨舟和正膜石墨舟之间的中转变节距，中转变节距上设置有多个用于承载硅片的承载位；用于将背膜石墨舟中的硅片装载到承载位的第一机械臂和用于将承载位的硅片装载到正膜石墨舟的第二机械臂，第一机械臂和第二机械臂的活动端均设置有用于吸附硅片的装载吸盘。如此设置，通过第一机械臂和第二机械臂转运硅片，避免了背膜工艺到正膜工艺的人工搬运流程，有利于节省人力和资源；而且硅片的装卸只完成一次，减少对硅片造成的损伤。

本发明授权自动化硅片输送装置在权利要求书中公布了：1.一种自动化硅片输送装置，其特征在于，包括有：用于装载硅片并进行背面镀膜的背膜石墨舟（1）；用于装载硅片并进行正面镀膜的正膜石墨舟（2）；位于所述背膜石墨舟（1）和所述正膜石墨舟（2）之间的中转变节距（5），所述中转变节距（5）上设置有多个用于承载硅片的承载位；用于将所述背膜石墨舟（1）中的硅片装载到所述承载位的第一机械臂（3）和用于将所述承载位的硅片装载到所述正膜石墨舟（2）的第二机械臂（4），所述第一机械臂（3）和所述第二机械臂（4）的活动端均设置有用于吸附硅片的装载吸盘；所述第一机械臂（3）和所述第二机械臂（4）上的装载吸盘均设置有多个、且分别与所述中转变节距（5）上的承载位相对应；还包括有用于检测所述承载位上硅片缺失状况的缺片检测机构、装载有背面镀膜硅片的补片花篮（7）、用于将补片花篮（7）中的硅片装载到所述承载位上的补片机构（6）；所述补片机构（6）包括有沿所述补片花篮（7）至所述中转变节距（5）的方向延伸的第一滑轨（61）、与所述第一滑轨（61）滑动连接的第一移动台（62）、带动所述第一移动台（62）沿所述第一滑轨（61）位移的第一驱动（63）、位于所述第一移动台（62）上沿竖直方向延伸的第二滑轨、与所述第二滑轨滑动连接的第二移动台（64）、带动所述第二移动台（64）位移的第二驱动（65）、位于所述第二移动台（64）上的第三滑轨、与所述第三滑轨滑动连接的第三移动台（66）、带动所述第三移动台（66）位移的第三驱动（67），所述第三移动台（66）上设置有用于吸附硅片的补片吸盘（68）；所述第一滑轨（61）、所述第二滑轨和所述第三滑轨两两垂直设置；所述缺片检测机构包括有与所述装载吸盘连接并能够检测所述装载吸盘的负压值的负压表；还包括有补片轨道（8），所述补片花篮（7）设置在所述补片轨道（8）上、并能够沿所述补片轨道（8）滑动。

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