恭喜长鑫存储技术有限公司刘志拯获国家专利权
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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利存储器、存储器的衬垫结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112885805B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911205239.1,技术领域涉及:H01L23/498;该发明授权存储器、存储器的衬垫结构及其制备方法是由刘志拯设计研发完成,并于2019-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本存储器、存储器的衬垫结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本公开提供一种存储器、存储器的衬垫结构及存储器的衬垫结构的制备方法。该存储器的衬垫结构包括绝缘支撑层、导电层以及金属层。该绝缘支撑层包括第一区域以及围绕第一区域的环形沟槽。该第一区域内包括多个第一沟槽和多个第二沟槽。多个第一沟槽均与环形沟槽相通。任一第二沟槽与环形沟槽以及任一第一沟槽均不相通。该导电层填充于环形沟槽和各第一沟槽内。该金属层填充于各第二沟槽内。本公开能够提高存储器的寿命。
本发明授权存储器、存储器的衬垫结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种存储器的衬垫结构,其特征在于,包括:绝缘支撑层,包括第一区域以及围绕所述第一区域的环形沟槽,所述第一区域内包括多个第一沟槽和多个第二沟槽,多个所述第一沟槽均与所述环形沟槽相通,任一所述第二沟槽与所述环形沟槽以及任一所述第一沟槽均不相通;导电层,填充于所述环形沟槽和各所述第一沟槽内,所述导电层中有多个纵向连接通道;金属层,填充于各所述第二沟槽内。
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