恭喜ASML荷兰有限公司F·哈西毕获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于性质联合插值和预测的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113366498B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980090994.1，技术领域涉及：G06F18/2431；该发明授权用于性质联合插值和预测的设备和方法是由F·哈西毕;L·P·范戴克;M·拉兰纳加;A·伊普玛;R·J·F·范哈恩设计研发完成，并于2019-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于性质联合插值和预测的设备和方法在说明书摘要公布了：根据本公开的一个方面，提供了一种用于预测与产品单元相关联的性质的方法。所述方法可以包括：获得多个数据集，其中所述多个数据集中的每一个数据集包括与参数的跨越所述产品单元的空间分布相关联的数据；将所述多个数据集中的每一个数据集表示为多维对象；获得利用先前获得的多维对象和先前产品单元的性质所训练的卷积神经网络模型；以及将卷积神经网络模型应用于表示多个数据集的多个多维对象，以预测与产品单元相关联的性质。
本发明授权用于性质联合插值和预测的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于预测与衬底相关联的性质的方法，所述方法包括：获得多个数据集，其中所述多个数据集中的每一个数据集包括与一参数的横跨所述衬底的空间分布相关联的数据；将所述多个数据集中的每一个数据集表示为多维对象；获得利用先前获得的多维对象和先前衬底的性质所训练的卷积神经网络模型；将所述卷积神经网络模型应用于表示所述多个数据集的多个多维对象，以预测与所述衬底相关联的性质，其中所述卷积神经网络模型包括多个部分，所述多个部分包括输入部分、合并部分和输出部分；并且在所述输入部分中，所述多维对象被彼此分开地处理并且在所述合并部分之前被转换为公共布局。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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