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龙图腾网恭喜江苏先锋精密科技股份有限公司申请的专利一种降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111312620B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911278469.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器是由游利;贾坤良设计研发完成，并于2019-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器在说明书摘要公布了：一种降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，包括金属加热器主体、金属固定环，所述金属加热器主体设置有盘体、安装轴、测温热电偶和若干个气体管路，金属加热器主体的盘体内嵌设有若干个方型铠装加热管和石墨匀热片，顶面设置有陶瓷匀热盘；所述盘体和陶瓷匀热盘外围设置有金属固定环；所述盘体上设置有表面匀气沟槽、外圈密封面、内圈密封面、方型加热管安装沟槽和石墨匀热片安装槽；所述方型铠装加热管外壳设置为方型，内部设置为圆形铠装加热管；所述的陶瓷匀热盘顶面均布有若干数量的支撑晶圆的小凸台。本发明结构新型，工艺稳定，大幅度延长了使用寿命，减少了工艺时污染，显著提高了生产效率，降低了生产成本。

本发明授权一种降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器在权利要求书中公布了：1.一种降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，包括金属加热器主体（1）、金属固定环（5），其特征在于：所述金属加热器主体（1）设置有盘体（1-1）、盘体（1-1）底部设置有安装轴（1-9）、安装轴（1-9）内设置有测温热电偶（1-7）和若干个气体管路（1-8），金属加热器主体（1）的盘体1-1内嵌设有若干个方型铠装加热管（2）和石墨匀热片（3），顶面设置有陶瓷匀热盘（4）；所述盘体（1-1）和陶瓷匀热盘（4）外围设置有金属固定环（5）；所述盘体（1-1）上设置有表面匀气沟槽（1-2）、外圈密封面（1-3）、内圈密封面（1-4）、方型加热管安装沟槽（15）和石墨匀热片安装槽（1-6）；所述方型铠装加热管（2）设置有内区方型铠装加热管（2-1）和外区方型铠装加热管（2-2），所述方型铠装加热管外壳设置为方型，内部设置为圆形铠装加热管，加热管外壳和圆形铠装加热管之间设置有导热层（2-4）；所述的陶瓷匀热盘（4）顶面均布有若干数量的支撑晶圆的小凸台（4-1），底面设置有密封面（4-2），所述的石墨匀热片（3）设置有内区石墨匀热板（3-1）和外区石墨匀热板（3-3），所述导热层（2-4）采用材料为：导热良好的金属或者更耐高温的氧化镁粉，所述导热层（2-4）采用材料为：导热良好的金属或者更耐高温的氧化镁粉。

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