恭喜株式会社斯库林集团塙洋祐获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113366615B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080010595.2，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理方法及基板处理装置是由塙洋祐设计研发完成，并于2020-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能以简易的构成降低蚀刻不良的产生率的技术。本发明的基板处理方法具备基板保持工序、带电工序、及蚀刻液供给工序。在基板保持工序中，通过基板保持部保持基板。在带电工序中，使基板绕通过该基板的中央部的旋转轴线旋转，将纯水与添加气体以能使该基板的第1主面的整面带正电的第1混合浓度混合所得的第1混合液供给至该基板，以使该基板带电。在蚀刻液供给工序中，在带电工序之后或与带电工序并行，使该基板绕旋转轴线旋转，对该基板的第1主面供给蚀刻液。
本发明授权基板处理方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，具备：基板保持工序，通过基板保持部来保持具有形成了图案的第1主面的基板；带电工序，使上述基板绕通过上述基板的中央部的旋转轴线而旋转，将使纯水与添加气体以能使上述基板的第1主面的整面带正电的第1混合浓度混合后的第1混合液供给至上述基板，以使上述基板带电；及蚀刻液供给工序，在上述带电工序之后或与上述带电工序并行，使上述基板绕上述旋转轴线旋转，对上述基板的上述第1主面供给包含负离子的酸性或碱性的蚀刻液。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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