恭喜朗姆研究公司普鲁肖坦·库马尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利在半导体制造中的动态工艺控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114222830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080057459.9，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权在半导体制造中的动态工艺控制是由普鲁肖坦·库马尔;缪腾飞;蒋更玮;丹尼尔·何;约瑟夫·R·阿贝尔;西达巴·阿杜尔;普尔凯特·阿加瓦尔设计研发完成，并于2020-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本在半导体制造中的动态工艺控制在说明书摘要公布了：提供了用于衬底处理中，例如在半导体制造应用中的动态工艺控制的方法和系统。提供了一些示例系统和方法，其用于原子层沉积ALD工艺中的高级监控和机器学习。一些示例还涉及用于室参数匹配和气体管线填充时间的动态工艺控制和监控。
本发明授权在半导体制造中的动态工艺控制在权利要求书中公布了：1.一种用于监控制造工艺中的处理循环的系统，所述系统包括：用于所述制造工艺的处理室；以及一个或多个控制器，其被配置为执行工艺监控操作，所述操作包括：识别所述制造工艺的参数；基于所述制造工艺的第一循环产生包括第一参数值的参数值的第一曲线，所述参数值包括供应所述处理室的管线的气体管线填充时间；基于供应所述处理室的管线中的阀打开和此后恒定压强增加的确定之间的压强渐升时间来计算所述气体管线填充时间；以及基于所述第一循环的所生成的所述曲线，识别所述制造工艺的第二循环的所述参数的第二值；生成第二曲线，所述第二曲线包括从所述制造工艺的所述第二循环导出的多个参数值；以及将所述参数值的第二曲线与所述参数值的第一曲线进行曲线拟合，其中，所述曲线拟合操作包括：基于所述制造工艺的第三和后续循环或从所述制造工艺的第三和后续循环导出的参数值的一系列曲线与所述第一或第二曲线拟合以生成定义用于所述制造工艺的成组的黄金参数值的黄金曲线。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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