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龙图腾网恭喜安徽光智科技有限公司申请的专利红外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112635581B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011610771.4，技术领域涉及：H10F77/30；该发明授权红外探测器及其制备方法是由刘志方;杨晓杰设计研发完成，并于2020-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本红外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种红外探测器及其制备方法，制备方法包括：S1，提供衬底，在衬底上生长形成外延层；S2，对外延层通过干法刻蚀工艺进行刻蚀形成探测器台面；S3，根据步骤S2所得结构，对探测器台面的表面腐蚀处理；S4，对腐蚀处理后的探测器台面的表面硫化处理以在探测器台面的表面形成第一钝化层，然后在硫化处理后的探测器台面的表面上沉积介质膜形成第二钝化层；S5，在第一钝化层和第二钝化层上开口以露出探测器台面的表面，在探测器台面的表面上形成第一电极和第二电极；S6，提供读出电路，将第一电极和第二电极与读出电路连接。本公开能抑制红外探测器台面表面漏电并提升台面的整体钝化效果，从而有效提高红外探测器的可靠性和稳定性。

本发明授权红外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：S1，提供衬底1，在所述衬底1上生长形成外延层2；S2，对所述外延层2通过干法刻蚀工艺进行刻蚀以形成探测器台面M；S3，根据步骤S2所得到的结构，对所述探测器台面M的表面进行腐蚀处理；S4，对腐蚀处理后的所述探测器台面M的表面进行硫化处理以在所述探测器台面M的表面形成第一钝化层3，然后在硫化处理后的所述探测器台面M的表面上沉积介质膜形成第二钝化层4；S5，在所述第一钝化层3和所述第二钝化层4上开口以露出所述探测器台面M的表面，在所述探测器台面M的表面上形成第一电极5和第二电极6；S6，提供读出电路7，将所述第一电极5和所述第二电极6与所述读出电路7连接；其中，步骤S3的具体方法为：将经步骤S2所得到的结构放入磷酸柠檬酸水溶液进行腐蚀处理，设定腐蚀温度小于50℃，腐蚀时间不超过5min；所述第一钝化层3为硫化物钝化层，所述第二钝化层4为氧化硅钝化层或氮化硅钝化层。

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