恭喜慧石(上海)测控科技有限公司郭梅寒获国家专利权
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龙图腾网恭喜慧石(上海)测控科技有限公司申请的专利微机电结构及其机械性能的调控方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112777559B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011627164.9,技术领域涉及:B81B3/00;该发明授权微机电结构及其机械性能的调控方法是由郭梅寒;贺丹;王辉设计研发完成,并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电结构及其机械性能的调控方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种微机电结构及其机械性能的调控方法,所述调控方法包括:对电极上电,驱动质量块在垂直第一方向上运动,其中第一方向为所述微机电结构的结构功能方向;当所述质量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发锁止组件的两部分锁定,以使得所述质量块上的部分锁止组件与所述质量块在垂直第一方向的运动路径上的另一部分锁止组件锁合,所述质量块连接固定于垂直第一方向的运动路径上的另一部分锁止组件后在垂直第一方向上停止运动,所述微机电结构在第一方向上的机械性能改变。通过以上方式,在外加的第二电极的驱动下,能够不可逆的改变质量块在第一方向上运动时支撑悬臂梁的总刚度,形成不同性能的微机电结构。
本发明授权微机电结构及其机械性能的调控方法在权利要求书中公布了:1.一种微机电结构机械性能的调控方法,其特征在于,所述微机电结构包括:衬底;质量块,设于所述衬底上;悬臂梁,至少一对所述悬臂梁围设于所述质量块外,所述悬臂梁一端固定连接于所述衬底且另一端与所述质量块相连,以将所述质量块悬置于所述衬底上;第一电极,与所述质量块通过电容连接,驱动所述质量块在第一方向上往复运动或检测所述质量块在第一方向上的运动加速度;第二电极,与所述质量块通过电容连接,驱动所述质量块在垂直第一方向上运动;锁止组件,部分设于所述质量块上,另一部分设于所述衬底上且与设于所述质量块上的部分相对设置,所述锁止组件的两部分设于所述质量块在垂直第一方向上运动的路径上;所述调控方法包括:对第二电极上电,驱动质量块在垂直第一方向上运动,其中第一方向为所述微机电结构的结构功能方向;当所述质量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发锁止组件的两部分锁定,使质量块固定,以改变所述质量块在垂直第一方向上的位置,进而改变所述微机电结构的机械性能。
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