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龙图腾网恭喜大连连城数控机器股份有限公司申请的专利一种半导体晶棒滚磨机床获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113370005B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110825306.0，技术领域涉及：B24B5/04；该发明授权一种半导体晶棒滚磨机床是由朱凯;周江辉;唐学千;金明来;金敬武;徐杰;王永哲设计研发完成，并于2021-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶棒滚磨机床在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体晶棒滚磨机床，包括机床底座、位于机床底座上方的横梁、安装在所述横梁上的Z轴进给滑台及驱动Z轴进给滑台运动的Z轴驱动装置、安装在Z轴进给滑台底部的夹具组、安装在机床底座上的上料导轨、安装在所述上料导轨上的上料输送滑台、检测滑台和驱动机构、安装在上料输送滑台上的上料定心装置、安装在检测滑台上的毛坯检测装置与X射线晶向检测仪、安装在机床底座上的晶棒磨削装置和安装在晶棒磨削装置上的加工检测装置。本发明实现了全自动加工，机械上料、机械检测确定磨削次数，减少了人工操作，增大了工作效率和工作精度。

本发明授权一种半导体晶棒滚磨机床在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶棒滚磨机床，其特征在于，包括：机床底座；横梁，其设置在所述机床底座的上方，延伸方向与所述机床底座的长度方向平行；Z轴进给滑台，安装在所述横梁上，并与所述横梁滑动连接；Z轴进给驱动装置，安装在所述横梁上，用于驱动所述Z轴进给滑台沿所述横梁的延伸方向水平运动；夹具组，安装在所述Z轴进给滑台底部，用于轴向夹持晶棒的两个端面，且驱动晶棒围绕其轴线转动；上料导轨组，安装在所述机床底座上，且其设置在所述机床底座的头端，延伸方向沿所述机床底座的宽度方向；上料输送滑台，安装在所述上料导轨组上，与所述上料导轨组滑动连接；上料输送滑台驱动机构，用于驱动所述上料输送滑台沿所述上料导轨组的延伸方向水平运动；检测滑台，安装在所述上料导轨组上，与所述上料导轨组滑动连接；检测滑台驱动机构，用于驱动所述检测滑台沿所述上料导轨组的延伸方向水平运动；上料定心装置，安装在所述上料输送滑台上，用于径向夹持晶棒的外壁，并使晶棒的轴线与所述机床底座的长度方向平行；毛坯检测装置，安装在所述检测滑台，用于检测晶棒的毛坯尺寸和加工余量；所述毛坯检测装置包括固定在所述检测滑台上的检测气缸，所述检测气缸的输出端通过检测支架连接有安装板，且所述安装板与固定在所述检测滑台上的检测导轨滑动连接，所述检测导轨的延伸方向平行于所述机床底座的宽度方向；所述安装板上安装有探针，所述探针的输出端连接有导轮轴，所述导轮轴预压所述探针，且所述导轮轴远离所述探针的一端安装有导轮，所述导轮轴的延伸方向与所述探针的延伸方向重合，所述安装板在所述导轮轴所在处设置有导轮轴禁转机构；所述导轮轴的侧壁上加工有平面；所述导轮轴禁转机构包括固定在所述安装板上的安装座，所述安装座朝向所述导轮的一端加工有凹槽，所述导轮轴轴向穿过所述凹槽的槽底，所述凹槽的四壁上分别设有螺纹孔，且其中一个或其中相对设置的两个螺纹孔内设有紧定螺栓，所述紧定螺栓与所述平面相配合阻碍所述导轮轴围绕其轴线转动；凹槽内设有套设在所述导轮轴上的复位弹簧，且所述复位弹簧的一端与所述导轮轴具有导轮的一端连接，所述复位弹簧的另一端与所述凹槽的槽底连接，所述导轮轴具有导轮的一端外径与所述凹槽的内径相匹配；X射线晶向检测仪，安装在所述检测滑台，用于检测晶棒的晶线；晶棒磨削装置，安装在所述机床底座的侧部，用于磨削晶棒；以及加工检测装置，安装在所述晶棒磨削装置上，用于检测晶棒加工后的尺寸；所述夹具组包括：Z轴丝杠，其安装在所述Z轴进给滑台上，其输入端与第一电机连接；两个夹头，其中一个夹头与所述Z轴丝杠的输出端连接，另一个夹头与所述Z轴进给滑台固定连接；以及电机和谐波减速器，电机和谐波减速器与固定在所述Z轴进给滑台的所述夹头连接，用于驱动此夹头围绕其轴线转动。

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