恭喜华中科技大学申利梅获国家专利权
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龙图腾网恭喜华中科技大学申请的专利一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114023871B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111271370.5,技术领域涉及:H10N10/01;该发明授权一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件及其制备方法是由申利梅;陈艺欣;牛炳轩;谢军龙设计研发完成,并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于薄膜热电器件技术领域,并具体公开了一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件及其制备方法,其包括如下步骤:S1在金属基体表面依次沉积第一结合层、n型热电薄膜、第二结合层、焊料层,得到n型镀膜金属基体,然后将n型镀膜金属基体分割成多个n型镀膜热电臂;S2在金属基体表面依次沉积第三结合层、p型热电薄膜、第二结合层、焊料层,得到p型镀膜金属基体,然后将p型镀膜金属基体分割成多个p型镀膜热电臂;S3将n型镀膜热电臂和p型镀膜热电臂固定在模具中,并与附有电极的基板热压焊接,得到热电薄膜器件。本发明通过引入镀膜型的特殊结构,可实现高性能热电薄膜的引入,同时避免了薄膜器件加工过程中的复杂图案化工艺。
本发明授权一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、在金属基体表面依次沉积包括第一结合层、n型热电薄膜、第二结合层、焊料层的镀膜,得到n型镀膜金属基体,然后将该n型镀膜金属基体分割成多个n型镀膜热电臂;S2、在金属基体表面依次沉积包括第三结合层、p型热电薄膜、第二结合层、焊料层的镀膜,得到p型镀膜金属基体,然后将该p型镀膜金属基体分割成多个p型镀膜热电臂;所述第一结合层采用Ag、Ti、Ta、W、Au及其氮化物中的一种或多种复合的薄膜,第一结合层厚度为150nm~500nm;所述第二结合层采用Ni、Ti、Au、W及其氮化物中的一种或多种复合的薄膜,第二结合层厚度为2um~5um;所述第三结合层采用Cr、Ti、Ta、W、Au及其氮化物中的一种或多种复合的薄膜,第三结合层厚度为150nm~500nm;S3、将n型镀膜热电臂和p型镀膜热电臂固定在模具中,并与附有电极的基板热压焊接,得到热电薄膜器件。
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