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龙图腾网恭喜凯磁科技(宁波)有限公司申请的专利一种芯片光刻用氦气输送泵获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113944644B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111403841.3，技术领域涉及：F04D25/06；该发明授权一种芯片光刻用氦气输送泵是由蒋启权;王代明设计研发完成，并于2021-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片光刻用氦气输送泵在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片光刻用氦气输送泵，包括机壳，机壳的左端密封连接有蜗壳组件，机壳的右端密封连接有轴承支撑组件，机壳内腔的左端密封安装有磁轴承定子a，机壳内腔的右端密封安装有磁轴承定子b，机壳内腔的中部安装有定子组件，机壳内还安装有转轴总成，转轴总成依次穿过磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b，且转轴总成在磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b的磁力作用下周向转动，转轴总成的左端还安装有叶轮，叶轮位于蜗壳组件内。机壳内的氦气会形成静态密封，在工作时，机壳内的组件与蜗壳之间会形成气密封，从而避免了氦气从机壳内带走物质，保证了氦气质量，且该氦气输送泵，能够高速转动，从而保证氦气的输送。

本发明授权一种芯片光刻用氦气输送泵在权利要求书中公布了：1.一种芯片光刻用氦气输送泵，其特征在于：包括机壳，所述机壳的左端密封连接有蜗壳组件，所述机壳的右端密封连接有轴承支撑组件，所述机壳内腔的左端密封安装有磁轴承定子a，所述机壳内腔的右端密封安装有磁轴承定子b，所述机壳内腔的中部安装有定子组件，所述机壳内还安装有转轴总成，所述转轴总成依次穿过所述磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b，且所述转轴总成在所述磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b的磁力作用下周向转动，所述转轴总成的左端还安装有叶轮，所述叶轮位于所述蜗壳组件内，所述转轴总成包括中空的芯轴a和中空的芯轴b，所述芯轴a或所述芯轴b的内腔内安装有磁钢，所述芯轴a和所述芯轴b通过所述磁钢磁性连接，位于所述叶轮右侧的所述芯轴a上从左往右依次安装有衬套a和待测件，所述衬套a上套装有轴承a，所述衬套a、所述轴承a和所述待测件均位于所述磁轴承定子b内，所述芯轴b上从左往右此次设置有径向磁轴承冲片b、被测环、推力盘和轴承b，所述径向磁轴承冲片b、被测环、推力盘位于所述磁轴承定子b内，所述轴承b位于所述轴承支撑组件内；所述磁轴承定子a包括支撑座、轴承座a，检测组件a和径向磁轴承定子a，所述支撑座的外缘上安装有密封圈，所述支撑座通过螺钉组件安装在所述机壳的左端，且所述支撑座和所述机壳的左端内腔通过所述密封圈密封，所述支撑座具有台阶腔a和台阶腔b，所述台阶腔a位于所述台阶腔b的左侧，且所述台阶腔a内密封安装有所述轴承座a，所述台阶腔b内安装有径向磁轴承定子a，所述台阶腔a内还安装有检测所述待测件移动的检测组件a，所述检测组件a位于所述径向磁轴承定子a和所述轴承座a之间，所述轴承a位于所述轴承座a内，且所述芯轴a上还安装有密封环，所述密封环位于所述待测件和所述叶轮之间，所述密封环的内圈与所述芯轴a在径向方向上具有间隙，且所述密封环在所述叶轮的顶压下紧压所述衬套a；所述检测组件a包括固定壳a和塑封模块a，所述塑封模块a安装在所述固定壳a内，且所述塑封模块a的径向方向上安装有检测芯轴a径向位移的径向位移探测器a，所述塑封模块a的轴向方向上安装有检测芯轴a轴向位移的轴向位移探测器，所述塑封模块a包括环形圈，所述环形圈的径向方向上设置有径向柱a，所述环形圈的内侧壁上轴向设置有的轴向柱a，所述固定壳a上具有芯轴a穿过的通孔，且所述固定壳a的一端面上开设有环形槽d，所述固定壳a的径向方向上开设有径向穿孔a，所述径向穿孔a穿过所述环形槽d并与所述通孔连通，所述固定壳a上还轴向开设有轴向穿孔a，所述环形圈安装在所述环形槽d内，所述轴向柱a安装在所述轴向穿孔a内，所述径向柱a安装在所述径向穿孔a内，所述径向柱a内安装有检测所述待测件径向位移的所述径向位移探测器a，所述轴向柱a内安装有检测所述待测件轴向位于的所述轴向位移探测器。

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